[实用新型]一种实时监测的激光器参数测试装置

说明书

技术领域

本实用新型属于激光器特性功率检测设备技术领域，尤其是一种实时监测的激光器参数测试装置。

背景技术

激光功率是激光器中最主要的参量，激光输出功率严重地影响着激光加工的质量，因此，在加工过程中, 如果能实时监控激光功率的变化，提高激光功率的稳定精度，对于提高产品合格率有着极其重要的作用。然而，在国内，无论是激光器生产厂家，还是激光设备应用厂家，大部分都没有激光器功率特性检测装置，激光器质量好坏只有在使用时才能发现，影响了激光加工的质量和连续型，如果在使用时发现问题，还会造成制造成本的增加。而部分厂家依据自己企业标准进行相关简单测试，也不符合激光器工业化应用的要求。并且少量激光器功率特性测试方法，也是传统的测试方法，测量精度和准确度不高，具体如下：

传统的激光功率检测方法是将激光照射到激光功率计或激光能量计上进行检测。这种测量技术对激光计探头的要求很高，通常以石墨为材料，探头响应很慢，且通常需要水冷，测量功率时必须停止加工，从而影响了加工的连续性，不能实时检测功率。另一种检测技术是在输出激光束的光路中，利用快速旋转的细针采样来测量激光功率。由于制作工艺和受环境的影响，造成采样不稳定，可引起检测偏差和系统不稳定，同时不可避免地使激光束传输和调整变得更复杂。

为了解决现有激光器与激光设备功率特性无检测或者检测精度与稳定性不高等缺陷，基于专利申请号为CN201410773391.9的《二氧化碳激光器功率特性智能在线测试装置》的文件，以工作波长为10.6μmCO₂激光器功率特性测试为研究对象，利用激光谐振腔低透射率介质膜全反射的特性，采用激光器尾镜激光取样而研发的一种进一步改进结构。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种实时监测的激光器参数测试装置，该激光器测量装置安装于测试台上且与激光器尾端连接，采用尾镜激光取样的方法克服了传统的激光功率取样方法中存在的测量时激光器与激光设备需要停止工作而导致实时性与稳定性不够的缺陷，提高采样准确度与实时性。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种实时监测的激光器参数测试装置，包括测试台，测试台上设有激光器、激光功率探测装置，激光功率探测装置包括谐振腔，谐振腔内设有输出镜、介质全反镜、衰减器和探测器，探测器设置在衰减器底部，测试台上设有沿激光器轴向延伸的安装导轨，安装导轨间隔分布，其特征在于：所述激光功率探测装置通过支架安装于测试台的安装导轨上，且激光功率探测装置连接激光器尾端，所述支架包括底盘，底盘上端设有轴向突伸的支撑臂，支撑臂上端设有安装座，所述安装座与支撑臂之间通过可拆卸的连接组件固定安装，该连接组件包括固装于安装座底部的连接盘体，连接盘体设有径向延伸缘，连接盘体设有与支撑臂上端部配合的插槽，支撑臂插入插槽后经横轴连接，横轴两端伸出径向延伸缘之外的部分沿横杆径向插入定位销固定，所述底盘下端设有与安装导轨滑移配合的滑槽，滑槽侧壁开有定位孔，定位孔中穿入定位钉，定位钉尖端抵接于安装导轨侧壁，激光器通过激光器架安装于测试台上，激光器架包括安装板，安装板上端安装有承托激光发射器的立柱，所述立柱设有轴向通孔，立柱上端开口处设有盖板，盖板设有可供激光器的连接线进入的线孔，安装导轨包括导轨面板和导轨条，与立柱的轴向通孔对应的联通孔，导轨条为中空结构，导轨条的中空腔内壁贴附有绝缘膜层，立柱的轴向通孔中安装有绝缘套。

进一步的，所述安装座底部设有U型架，该U型架与连接盘体一体连接，U型架外壁与连接盘体的径向延伸缘之间留有操作空间，所述定位销的头部由径向延伸缘下端面伸入并从径向延伸缘上端面伸出，定位销伸出的头部经弯折后形成定位端部或定位销伸出的头部经插入横杆后形成定位端部，定位端部位于操作空间中。

进一步的，所述连接盘体设有可供横轴穿过的通孔，该通孔的两端内壁分别设有外扩端口，外扩端口的口径大于横轴直径。

进一步的，所述连接盘体的径向延伸缘截面呈水平横置的梯形结构，该水平横置的梯形结构的大底边与连接盘体一端连接，水平横置的梯形结构的小底边构成自由端。