[实用新型]反应腔信号探测光纤接头紧固装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光纤连接设备，尤其涉及反应腔信号探测光纤接头紧固装置。

背景技术

目前，在集成电路芯片制造领域，光纤在相应设备上有着广泛的应用。集成电路晶圆加工设备通过光纤探测反应腔内光的强度变化，判断晶圆镀膜、刻蚀等过程进度。为了确保光纤探测的准确性，如何将光纤接头固定牢固和两个光纤接头光纤束接触面对接紧密显得尤为重要。为此，特设计反应腔信号探测光纤接头紧固装置，固定光纤接头，通过转换器对接两个光纤接头，确保光纤束接触面对接紧密。

发明内容

本实用新型的目的是提供反应腔信号探测光纤接头紧固装置，确保光纤接头固定牢固且两个光纤接头光纤束接触面对接紧密;

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：反应腔信号探测光纤接头紧固装置，包括固定外壳、C型卡簧一、弹簧、光纤束接头、C型卡簧二和转换器。所述的固定外壳外形呈阶梯圆柱状，内部有圆形孔洞贯穿，固定外壳内部两侧贯穿圆孔直径大于中间贯穿圆孔，中间较小贯穿圆孔直径小于C型卡簧外径，形成隔板用于挡住C型卡簧一；固定外壳外侧一段有螺纹，用于与转换器固定。所述的光纤束接头外形呈圆柱状，外侧有两个环形槽，用于固定C型卡簧，光纤束接头外侧一端有环形切除斜坡，光纤束接头内部有圆形孔洞贯穿，用于固定光纤束。所述的弹簧在自然状态下，长度大于光纤束接头外侧两个环状槽间距。所述的转换器外侧两边有孔洞，用于固定在机台设备上，与外侧孔洞面垂直的圆柱形主体部分，在外侧孔洞面两侧对称，圆柱形主体部分内有螺纹，用于与固定外壳固定；转换器内部中间位置两侧均有环形切除斜坡，用于与光纤束接头配合;

本实用新型的使用方法和有益效果是：

光纤束是安装在光纤束接头内，光纤束接头有环形切除斜坡一端是光纤束外侧端面。装配时，先将C型卡簧一固定在光纤束接头后端环形槽内，将光纤束接头从固定外壳后端插入（固定外壳后端即没有螺纹一端），此时C型卡簧会被固定外壳中间较小贯穿圆孔直径形成的隔板挡住；然后，将弹簧从固定外壳前端（固定外壳前端即有螺纹一端），套入光纤束接头中，再将C型卡簧二固定在光纤束接头前端环形槽内，此时弹簧在两个C型卡簧之间。

将经过上诉步骤组装好的设备，拧入转换器一端，通过螺纹固定；光纤束接头有环形切除斜坡一端，与转换器内部中间位置环形切除斜坡配合；转换器另一端采用相同的接头固定，两端光纤束接头光纤束面在转换器中间位置紧密对接;

本实用新型有益效果是：特设计反应腔信号探测光纤接头紧固装置，固定光纤接头，通过转换器对接两个光纤接头，确保光纤束接触面对接紧密。

附图说明

图1为反应腔信号探测光纤接头紧固装置整体结构示意图；

图2为反应腔信号探测光纤接头紧固装置接头组装爆炸示意图；

图3为反应腔信号探测光纤接头紧固装置固定外壳示意图；

图4为反应腔信号探测光纤接头紧固装置固定外壳剖视图；

图5为反应腔信号探测光纤接头紧固装置光纤束接头示视图；

图6为反应腔信号探测光纤接头紧固装置转换器示视图；

图7为反应腔信号探测光纤接头紧固装置转换器剖视图；

1. 固定外壳；2.C型卡簧一；3.弹簧；4.光纤束接头；5.C型卡簧二；6.转换器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明;

本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2、附图3、附图4、附图5、附图6和附图7。本实例反应腔信号探测光纤接头紧固装置，包括固定外壳1、C型卡簧一2、弹簧3、光纤束接头4、C型卡簧二5和转换器6。所述的固定外壳1外形呈阶梯圆柱状，内部有圆形孔洞贯穿，固定外壳1内部两侧贯穿圆孔直径大于中间贯穿圆孔直径，中间较小贯穿圆孔直径小于C型卡簧一2外径，形成隔板用于挡住C型卡簧一2；固定外壳1外侧一段有螺纹，用于与转换器6固定。所述的光纤束接头4外形呈圆柱状，外侧有两个环形槽，用于固定C型卡簧，光纤束接头4外侧一端有环形切除斜坡，光纤束接头4内部有圆形孔洞贯穿，用于固定光纤束。所述的弹簧3在自然状态下，长度大于光纤束接头4外侧两个环状槽间距。所述的转换器6外侧两边有孔洞，用于固定在机台设备上，与外侧孔洞面垂直的圆柱形主体部分，在孔洞面两侧对称，圆柱形主体部分内有螺纹，用于与固定外壳1固定；转换器6内部中间位置两侧均有环形切除斜坡，用于与光纤束接头4配合;