[实用新型]一种螺丝真空镀膜蚀刻盘治具有效

专利信息
申请号: 201720210445.1 申请日: 2017-03-06
公开(公告)号: CN206486590U 公开(公告)日: 2017-09-12
发明(设计)人: 付杰平 申请(专利权)人: 东莞市亮鑫五金加工有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638 代理人: 张廷利
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 螺丝 真空镀膜 蚀刻 盘治具
【权利要求书】:

1.一种螺丝真空镀膜蚀刻盘治具,包括真空镀膜板(1)、夹板(2)和过滤网板夹具(7),其特征在于:所述真空镀膜板(1)为圆形设计,且上端设有许多装载孔(9),所述装载孔(9)的周围设有透气孔(10),所述真空镀膜板(1)的外端夹着夹板(2),所述夹板(2)采用半圆弧形设计,且两个夹板(2)之间设置有夹板垫片(3),所述夹板(2)的外侧设置有固定连接板(4),所述固定连接板(4)上打有螺栓孔,所述夹板(2)的下端设有下套槽(5),所述过滤网板夹具(7)的上端设有上套凸块(6),所述上套凸块(6)套进下套槽(5)内,过滤网板夹具(7)内夹着过滤网板(8)。

2.根据权利要求1所述的一种螺丝真空镀膜蚀刻盘治具,其特征在于:所述真空镀膜板(1)的中心位置设有圆孔,该圆孔与过滤网板(8)中心位置设置的圆孔相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种螺丝真空镀膜蚀刻盘治具,其特征在于:所述过滤网板(8)上设有孔径小于螺丝直径的网。

4.根据权利要求1所述的一种螺丝真空镀膜蚀刻盘治具,其特征在于:所述夹板垫片(3)采用橡胶垫片。

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