[实用新型]一种含尘尾气除尘系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及含尘尾气处理技术领域，具体是一种适用于西门子法多晶硅生产的还原尾气湿式除尘系统。

背景技术

在现有的化工尾气除尘系统中，有旋风除尘、布袋除尘、喷淋除尘、静电除尘等，普及使用的大多为旋风除尘和喷淋除尘，而现有技术的喷淋除尘系统，通常包括除尘塔、管道高压水喷淋、气流折流板，主要采用高压水直接喷淋气体，需水量大、除尘不彻底；对于多晶硅等还原尾气中含大量硅粉、氢气的尾气，由于氢气全程参与冷凝等状态变化，制冷消耗较大，需要对现有的还原尾气处理系统进行技术改进，提前将粉尘除掉和分离出部分可凝性气体，降低后续尾气分离负荷和运行成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于多晶硅生产的含尘尾气除尘系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种含尘尾气除尘系统，包括尾气预冷器、除尘器、干燥排粉装置、分凝器、冷液体分离罐和喷淋液泵；所述尾气预冷器的进气口与含粉尘的尾气气体输送管连接，尾气预冷器的出气口连接到除尘器侧壁下部的进气口，除尘器下端设置粉体出料口，粉体出料口通过管道连接到干燥排粉装置的进料端；所述除尘器的顶部设置气体出料口，气体出料口通过出气管道与分凝器的进料端连接，分凝器的气体出料端通过管道连接到洁净气体排放管道；所述分凝器的出料端通过管道连接到冷液体分离罐，冷液体分离罐的气体出料端通过管道连接到洁净气体排放管道；所述冷液体分离罐的出液口通过管道连接到液体排出除口。

作为本实用新型进一步的方案：所述除尘器为湿式除尘器，除尘器内设置喷淋装置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述干燥排粉装置顶部设置气体出口，气体出口通过管道连接到除尘器的出气管道上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷液体分离罐设置两个出液口，另一个出液口连接循环洗涤液管道。

作为本实用新型再进一步的方案：所述循环洗涤液管道上安装有喷淋液泵，循环洗涤液管道设置两个分管道，其中一个分管道连接到除尘器的喷淋装置上，另一个分管道连接到冷液体分离罐上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷液体分离罐内两个出液口之间设置有溢流挡板，溢流挡板安装在冷液体分离罐下壁，溢流挡板上部与冷液体分离罐上壁分离。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型耗能少，分步式排出净化的尾气，特别是氢气的排出，大大降低了需要处理的还原尾气量，使得冷凝步骤的尾气处理量大幅减少，降低了能耗和设备投入成本，另一方面，冷凝后的液体作为除尘液和冷却介质循环使用，降低尾气处理成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

其中，1-尾气预冷器；2-除尘器；3-干燥排粉装置；4-分凝器；5-冷液体分离罐；6-喷淋液泵。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1，一种适用于多晶硅生产的含尘尾气除尘系统，包括尾气预冷器1、除尘器2、干燥排粉装置3、分凝器4、冷液体分离罐5和喷淋液泵6。

所述尾气预冷器1的进气口与含粉尘的尾气气体输送管连接，尾气中主要包括微硅粉、氢气、氯硅烷、四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅，尾气预冷器的出气口连接到除尘器2侧壁下部的进气口，除尘器2为湿式除尘器，除尘器2内设置喷淋装置,除尘器2下端设置分离后的硅粉与氯硅烷混合物出料口，混合物出料口通过管道连接到干燥排粉装置3的进料端；干燥排粉装置3顶部设置气体出口，气体出口通过管道连接到除尘器2的出气管道上。

所述除尘器2的顶部设置气体出料口，气体出料口通过出气管道与分凝器4的进料端连接，分凝器4的气体出料端通过管道连接到洁净气体排放管道；所述分凝器4的出料端通过管道连接到冷液体分离罐5，冷液体分离罐5的气体出料端通过管道连接到洁净气体排放管道；所述冷液体分离罐5设置两个出液口，一个人出液口通过管道连接到液体排出口，另一个出液口连接循环洗涤液管道；所述循环洗涤液管道上安装有喷淋液泵6，循环洗涤液管道设置两个分管道，其中一个分管道连接到除尘器2的喷淋装置上，另一个分管道连接到冷液体分离罐5上。

所述冷液体分离罐5内两个出液口之间设置有溢流挡板，溢流挡板安装在冷液体分离罐5下壁，溢流挡板上部与冷液体分离罐5上壁分离。