[实用新型]一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备。

背景技术

有机致电发光器件(OLED)因具有响应时间短、高对比度、可柔性化等优点，因此，采用有机致电发光器件作为显示装置的背光源具有广泛的应用前景。在有机致电发光器件的制备过程中，通常采用蒸镀法进行无机层和有机层的制备。蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术，其原理为将蒸镀的材料置于真空蒸发源装置的蒸发源内，通过对蒸发源进行加热，使材料从固态转化为气态，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。

在通过蒸镀法制备较大尺寸的有机致电发光器件时，多采用并列排布的多个蒸发源或者设置有多个喷头的单一蒸发源，真空蒸发源装置静止、且玻璃基板在蒸发源上方水平运动的方式进行蒸镀。如图1和图2结构所示，真空蒸发源装置分别采用多个点状蒸发源1或线形蒸发源2对玻璃基板4进行蒸镀，玻璃基板4可沿箭头A所示方向运动，每个点状蒸发源1设置有一个第一蒸镀开口11，线形蒸发源2可以设置有三个第二蒸镀开口21或多个第二蒸镀开口21，蒸镀气体3通过第一蒸镀开口11或第二蒸镀开口21从点状蒸发源1或线形蒸发源2中逸出并凝结在玻璃基板4上形成薄膜；玻璃基板4不同位置处的蒸镀速率主要通过玻璃基板4的传输速度和蒸发温度来进行调控，现有调控方式常会造成不同蒸发源或不同蒸镀开口之间的蒸镀速率出现较大差异，导致薄膜厚度的均匀性较差，降低显示屏内的电学及光学的均匀性，进而降低显示屏的亮度及颜色均匀性，导致显示屏的显示效果下降。

实用新型内容

本实用新型提供了一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备，该真空蒸发源装置能够减小不同位置处的蒸镀速率的差异，提高薄膜厚度的均匀性，提高显示屏内电学及光学均匀性，进而提高显示屏的显示性能。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种真空蒸发源装置，包括至少一个蒸发源，其中，每个蒸发源设置有至少一个蒸镀开口，每个蒸镀开口处层叠设置有第一盖板和第二盖板，所述第一盖板上设置有贯穿其厚度的至少一个第一过孔，所述第二盖板上设置有与每个第一过孔一一对应的第二过孔；

所述第一盖板和/或第二盖板能够转动，以实现对每对相互对应的第一过孔和第二过孔的重合面积的调节。

上述真空蒸发源装置可以设置一个蒸发源或多个蒸发源，每个蒸发源可以设置一个蒸镀开口或多个蒸镀开口，放置于每个蒸发源内的蒸镀材料在加热后生成的蒸镀气体通过蒸镀开口逸出并凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜；由于在每个蒸发源的每个蒸镀开口处层叠设置有第一盖板和第二盖板，第一盖板上设置有第一过孔、第二盖板上设置有第二过孔，并且第一盖板和/或第二盖板能够转动，因此，在采用上述真空蒸发源装置进行蒸镀过程中，能够通过转动第一盖板和/或第二盖板，以调节对应的第一过孔和第二过孔的重合面积，进而调节通过每个蒸镀开口的蒸气量，通过对第一盖板和/或第二盖板的转动调节每个蒸镀开口的开口面积，使每个蒸镀开口的蒸镀速率保持一致，解决现有技术中通过调节玻璃基板的传输速度和蒸发温度出现的蒸镀速率差异性较大的问题，进而提高蒸镀薄膜厚度的均匀性。

因此，该真空蒸发源装置能够减小不同位置处的蒸镀速率的差异，提高薄膜厚度的均匀性，提高显示屏内电学及光学均匀性，进而提高显示屏的显示性能。

优选地，所述第一盖板上设置的所述至少一个第一过孔沿所述第一盖板的周向均匀分布，且所述第二盖板上设置的所述至少一个第二过孔沿所述第二盖板的周向均匀分布。

优选地，在每对相互对应的所述第一过孔和所述第二过孔中，所述第一过孔和所述第二过孔的大小、形状均相同。

优选地，所述蒸发源为线形蒸发源或点状蒸发源。

优选地，所述点状蒸发源为坩埚，所述坩埚设置有一个蒸镀开口；所述第一盖板相对静止的设置于所述坩埚的蒸镀开口；

还包括第一驱动机构；

所述第一驱动机构与所述坩埚传动连接，用于驱动所述坩埚绕所述第一盖板的轴心线转动；或者，

所述第一驱动机构与所述第二盖板传动连接，用于驱动所述第二盖板绕其自身的轴心线转动。

优选地，还包括控制器；

所述控制器与所述第一驱动机构信号连接，用于控制所述第一驱动机构动作。

优选地，所述蒸发源为线形蒸发源时，所述线形蒸发源的每个蒸镀开口处相对静止地设置有所述第一盖板；

还包括与所述第二盖板传动连接、且用于驱动所述第二盖板绕其自身的轴心线转动的第二驱动机构。