[实用新型]一种双谐振腔结构的石墨烯光电探测器

权利要求书

1.一种双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：包括顶部谐振腔（1a）以及底部谐振腔（1b），所述顶部谐振腔（1a）位于底部谐振腔（1b）的上部，所述顶部谐振腔（1a）包括由上往下依次设置的第一分布布拉格反射镜（2）、二氧化硅腔（3）、第二分布布拉格反射镜（4），所述底部谐振腔（1b）包括由上往下依次设置的顶部谐振腔（1a）、空气腔（5）、第三分布布拉格反射镜（6）以及衬底（7），所述空气腔（5）内设有一吸收层（8），所述吸收层（8）为单层石墨烯，所述顶部谐振腔（1a）可对光信号进行滤波并为底部谐振腔（1b）提供顶部反射镜功能，入射光通过所述第一分布布拉格反射镜（2）进入顶部谐振腔（1a），经过滤波以及数次反射后进入所述底部谐振腔（1b）内并被吸收层（8）吸收。

2.根据权利要求1所述的双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：所述二氧化硅腔（3）以及空气腔（5）的光学厚度均为一个物理波长。

3.根据权利要求2所述的双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：所述吸收层（8）的光学厚度小于一个驻波周期，所述吸收层（8）设于驻波的波腹处。

4.根据权利要求3所述的双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：所述第一分布布拉格反射镜（2）、第二分布布拉格反射镜（4）以及第三分布布拉格反射镜（6）均由高折射率的硅与低折射率的二氧化硅逐层交错堆叠而成，所述单层的硅与二氧化硅的厚度分别为0.113μm和0.255μm 。

5.根据权利要求4所述的双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：所述第一分布布拉格反射镜（2）及第二分布布拉格反射镜（4）的光学厚度均为四个驻波周期，所述第三分布布拉格反射镜（6）的光学厚度为七个驻波周期。