[实用新型]匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置有效
| 申请号： | 201720154745.2 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206613662U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 潘浩 | 申请（专利权）人： | 无锡德鑫太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 匹配 链式 扩散 刻蚀 喷淋 装置 | ||
1.一种匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：包括至少两道平行设置的支架导轨(1)，且两相邻支架导轨(1)构成一用于腐蚀硅片的独立碱道，该相邻支架导轨(1)上设有至少一个可沿支架导轨(1)来回移动的用于均匀导流碱液的导流装置(2)，该导流装置(2)上设有进液口(3)，且所述导流装置(2)的内部均布有若干个与进液口相连通的流通管道，碱液由进液口(3)流入导流装置内顺着流通管道均匀滴落。
2.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：所述导流装置(2)包括上下设置的进液板(4)和导流板(5)，该导流板(5)和进液板(4)之间榫卯连接。
3.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：所述进液口(3)位于进液板(4)的上表面，该进液板(4)的下表面开挖有用于容纳液滴的空腔(6)，该空腔(6)内均布有若干个与进液口相连通的进液凹槽(7)。
4.根据权利要求3所述的匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：所述导流板(5)的两侧面分别均布有若干个与进液凹槽(7)相连通的导流柱(8)，该导流板(5)的底面均布有若干导流圆锥(9)；碱液经由进液凹槽(7)流至导流柱(8)上，顺着导流柱(8)汇至导流圆锥(9)上并滴落。
5.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：所述支架导轨(1)上沿其长度方向均布有若干个用于连接导流装置的卡槽(10)，同时所述导流装置(2)的两端具有与卡槽相适配的连接端(11)，该连接端(11)的截面形状与卡槽(10)的截面形状相一致。
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