[实用新型]一种真空镀膜传动装置

权利要求书

1.一种真空镀膜传动装置，包括真空室壁(1)，其特征在于：还包括螺钉(2)、固定套(3)、传动轴(4)、从动带轮(5)、弹簧(6)、皮带(7)、主动带轮(8)、电机(9)、减速箱(10)、自转轴(11)、自转齿轮(12)、固定件(13)、工件盘(14)、活动齿轮(15)、连接轴(16)、从动齿轮(17)、拉杆(18)、卡盘(19)、固定齿轮(20)和公转盘(21)；

所述固定套(3)通过螺钉(2)固定连接在真空室壁(1)中；

所述传动轴(4)活动连接在固定套(3)内部；

所述从动带轮(5)固定连接在传动轴(4)顶端，所述从动带轮(5)通过皮带(7)与主动带轮(8)相连接；

所述主动带轮(8)固定连接在减速箱(10)上侧输出轴上；

所述减速箱(10)固定连接在真空室壁(1)上面，所述减速箱(10)右上侧输入轴与电机(9)下侧输出轴固定连接；

所述公转盘(21)中心固定连接在传动轴(4)底端上，所述公转盘(21)外侧活动连接有数个自转轴(11)；

所述自转轴(11)下侧通过固定件(13)固定连接有自转齿轮(12)，所述自转轴(11)底端均固定连接有工件盘(14)；

所述自转齿轮(12)分别与活动齿轮(15)相连接；

所述活动齿轮(15)活动连接在连接轴(16)下侧；

所述连接轴(16)分别位于自转轴(11)内侧对应的位置，所述连接轴(16)活动连接在公转盘(21)中，所述连接轴(16)上侧均固定连接在从动齿轮(17)；

所述从动齿轮(17)分别与固定齿轮(20)相连接；

所述固定齿轮(20)固定连接在固定套(3)下侧外部；

所述拉杆(18)活动连接在传动轴(4)中心，所述拉杆(18)上侧与所述传动轴(4)顶面之间设有弹簧(6)，所述拉杆(18)底端固定连接有卡盘(19)；

所述卡盘(19)外侧卡槽分别与活动齿轮(15)下侧凹槽相连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜传动装置，其特征在于：所述电机(9)为伺服电机或变频电机。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜传动装置，其特征在于：所述连接轴(16)下侧设有花键槽，且花键槽与活动齿轮(15)内部相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜传动装置，其特征在于：所述皮带(7)为同步带。