[实用新型]一种用于单晶生长炉的真空除尘设备

权利要求书

1.一种用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，其包括除尘器罐体、自动清灰装置、除尘器过滤袋、防燃烧冷却器、侧开门结构及控制系统；除尘器罐体内部安装除尘器过滤布袋和自动清灰装置，并能够在内部2帕负压条件长时间正常工作；除尘器罐体罐体底部安装进气口，顶部安装出气口，通过除尘器过滤布袋过滤单晶炉排出的粉尘，除尘器过滤布袋与自动清灰装置连接，通过控制柜控制依次抖动除尘器过滤布袋。

2.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，除尘器罐体(1-1)为圆筒型结构，在罐体(1-1)的底面(1-7)安装有四个方形地脚(1-6)，底面(1-7)上方是盛灰室(3-1)，盛灰室(3-1)将除尘器内所有粉尘收集到里边；盛灰室(3-1)侧壁设有进气口(1-2)，进气口(1-2)接口尺寸与单晶真空炉管路出口相配合，并用螺栓(1-8)连接，在盛灰室(3-1)的另一个侧壁设部清灰口(1-3)，清灰口(1-3)一侧用折页(1-9)进行连接，清灰口(1-3)四周用蝶形螺母(1-10)把紧，清灰口(1-3)左侧焊接1个第一把手(1-11)，清灰口(1-3)与进气口(1-2)与清灰口(1-3)成90度夹角设计。

3.根据权利要求2所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，在罐体(1-1)的下部与盛灰室(3-1)之间有一个花板(3-2)，花板(3-2)是用于安装除尘器过滤布袋的连接口，该花板(3-2)将罐体(1-1)分割为上部过滤室(3-3)及下部盛灰室(3-1)，花板(3-2)上端与除尘器过滤袋(3-4)下端相连，在壳体的上部设有出气口(1-4)、出气口(1-4)位置在进气口(1-2)的斜上方，出气口(1-4)尺寸与真空泵管路接口尺寸相配合，并用螺栓(1-8)连接，罐体(1-1)侧面焊接J型吊耳(1-15)方便设备运输和拆装。

4.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，罐体(1-1)上方设有法兰(1-14)和上盖(1-12)，法兰(1-14)和上盖(1-12)之间用螺栓(1-13)连接，上盖(1-12)上面设有压力表(3-5)，压力表(3-5)旁边设有自动泄压阀(3-6)保证设备运行平稳,设备整体运行由控制系统(1-5)进行控制，上盖(1-12)上方有拉筋(2-2)和吊环螺钉(2-3)。

5.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，自动清灰装置内腔设有多组电磁振动器，电磁振动器内部采用电磁线圈(4-1)结构，铁芯(4-4)上方是一个可以活动的弹簧(4-3)，铁芯(4-4)底部连接一根推杆(4-5)，推杆(4-5)下方用螺栓(4-6)固定，电磁线圈(4-1)上方用端盖(4-7)密封，端盖(4-7)四周用螺栓(4-8)把紧。

6.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，除尘器过滤布袋用于过滤单晶炉排出的粉尘，除尘器过滤袋(3-4)采用PTFE覆膜材料；除尘器过滤布袋的上部设有安装环(5-1)，与设备自动清灰装置(2-1)相连，下端设有环顾与设备花板(3-2)密封，使除尘器过滤布袋内部与外部形成两个腔体。

7.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，冷却器外部采用水套(6-1)循环将腔内粉尘降温，冷却器整体采用圆柱形罐体结构；冷却器罐体一端与单晶炉出尘口管道相配合，接口处用螺栓(6-6)连接，另一端安装一个清灰门(6-3)；冷却器罐体内部采用迷宫式滤芯(6-2)，迷宫式滤芯(6-2)外尺寸与圆柱形罐体相配合；清灰门(6-3)采用O型圈进行密封，罐体底部支撑架(6-4)结构为2个立起的槽钢结构，将冷却器固定在地面上，出灰口(6-5)与除尘器罐体的进灰口对接。

8.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，其采用两组侧开门(7-1)结构，侧开门(7-1)为圆形结构，与设备罐体(1-1)相贯焊接，在筒体(7-3)两侧对称焊接，侧面有折页支撑架(7-2)，门板上有两个第二把手(7-4)，侧开门(7-1)四周用螺栓(7-5)与罐体连接。

9.根据权利要求1所述的用于单晶生长炉的真空除尘设备，其特征在于，控制系统包括主回路和控制回路，主回路由现场三相交流电源电压经过断路器QF1的主触点、隔离变压器TC1之后通过交流接触器KM1、KM2、KM3的常开触点连接到整流模块VC1、VC2、VC3输入端，整流模块VC1、VC2、VC3输出直流电压给励磁线圈YA1、YA2、YA3供电；控制回路由变压器TC1次级输出端经过熔断器FU1后分成三路，经继电器KA2的常开触点及KA1的常开触点并联后接电磁开关Y1；经转换开关SA1后分为二路，一路经按钮SB1、按钮SB2与继电器KA1常开触点并联后连接继电器KA1的线圈；另一路经继电器KA1常开触点与集控信号S1的常闭点与常开点之后接继电器KA2线圈。