[实用新型]离子源

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于，包括：

一电弧室，包含有：

一外壳，包含有多个内壁，并具有一上开口及一供一掺杂源气体通入该电弧室内的底进气孔；多个内板，分别设置于该外壳的对应内壁上；

一萃取电极板，盖合于该外壳的上开口，该萃取电极板中间形成有一第一萃取间隙；以及

一热电子产生元件，电隔离地设置于该外壳的一侧及对应该外壳一侧的内板上；以及

一电源供应装置，包含有：

一使该热电子产生元件加热至一预定温度的加热电源供应单元，耦接至该热电子产生元件；以及

一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该多个内板及该热电子产生元件。

2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，

该热电子产生元件由外至内包含有一灯丝及一阴极，其中该灯丝与该阴极之间保持一间隔；

该加热电源供应单元耦接至该灯丝，加热灯丝至该预定温度；

该电源供应装置进一步包含有一偏流电源供应单元，该偏流电源供应单元的正、负电极分别耦接至该阴极及该灯丝；

该低压电弧电源供应单元的正、负电极分别耦接至该多个内板及该阴极。

3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，

该热电子产生元件包含一灯丝；

该加热电源供应单元耦接至该灯丝，加热灯丝至该预定温度；

该低压电弧电源供应单元的正、负电极分别耦接至该多个内板及该灯丝。

4.如权利要求1至3中任一项所述的离子源，其特征在于，进一步包含有：

一抑制电极板，间隔设置于该萃取电极板的一外侧，并形成有一第二萃取间隙；其中该第二萃取间隙对准该萃取电极板的第一萃取间隙；以及

一接地电极板，间隔设置于该抑制电极板一外侧，并形成有一第三萃取间隙；其中该第三萃取间隙对准该抑制电极板的第二萃取间隙；其中：

该萃取电极板耦接至一第一高压电源供应单元的正电极；

该抑制电极板耦接至一第二高压电源供应单元的负电极，该第二高压电源供应单元的正电极则耦接至该第一高压电源供应单元的负电极；

该接地电极板耦接到地。

5.如权利要求4所述的离子源，其特征在于，进一步包含有：

一基座，其顶面凸设有一进气管；以及

一散热装置，设置于该基座的顶面与该电弧室的外壳的底面之间。

6.如权利要求5所述的离子源，其特征在于，该散热装置包含有：

一散热本体，其底面设置于该基座的顶面，其顶面全平面地贴平于该电弧室底板的底面，该散热本体对应该进气管的一侧面向内凹设有一贯穿其顶面及其底面的凹槽，且该进气管的外管壁与该凹槽内壁面有一间距；以及

至少一冷却媒介管，穿经该散热本体，并自该散热本体底面向下穿出二支管，该冷却媒介管通过该二支管填充有一流动的冷却媒介。

7.如权利要求6所述的离子源，其特征在于，该冷却媒介为冷却气体或冷却液体。

8.如权利要求7所述的离子源，其特征在于，进一步包含有多个弹性勾扣组件，其中各弹性勾扣组件包含有：

一L形固定件，螺设于该基座的一下基板上；

一弹簧，其一端勾设于该L形固定件；

一勾条，其一端勾扣于该弹簧的另一端，该勾条的另一端形成有一勾部，以勾扣于位于该电弧室的该萃取电极板的侧边。