[实用新型]一种扫描电镜多功能样品台有效
| 申请号： | 201720039579.1 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN206516602U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 刘洪喜;刘子峰;董涛;张晓伟;石海 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 多功能 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描电镜多功能样品台，包括样品台主体（1），其特征在于，样品台主体（1）上设有两个以上不在同一水平的平台，样品台主体（1）的每个平台上设有多个针脚孔Ⅰ（1-4），样品台主体（1）的侧面有与针脚孔Ⅰ（1-4）相对应的周身孔Ⅰ（1-6），样品台主体（1）的每个平台上设有多个圆弧形底的凹槽（1-8），样品台主体1侧面设有两个以上圆弧曲面（1-7），样品台主体（1）底部设有燕尾槽（1-5）。
2.根据权利要求1所述扫描电镜多功能样品台，其特征在于，样品台主体（1）上位置低的平台上设置凹形板（2），凹形板（2）为中间凹两头凸的结构，凹形板（2）上面设有多个针脚孔Ⅱ（2-1），侧面设有与针脚孔Ⅱ（2-1）对应的周身孔Ⅱ（2-2），凹形板（2）与高一级平台之间留有空隙（1-9）。
3.根据权利要求2所述扫描电镜多功能样品台，其特征在于，所述凹形板（2）与样品台主体（1）螺栓连接。
4.根据权利要求2所述扫描电镜多功能样品台，其特征在于，所述针脚孔Ⅰ（1-4）与周身孔Ⅰ（1-6）相通，针脚孔Ⅱ（2-1）与周身孔Ⅱ（2-2）相通。
5.根据权利要求1所述扫描电镜多功能样品台，其特征在于，所述圆弧形底的凹槽（1-8）中圆弧形底的圆弧设置不同的方向。
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