[实用新型]一种化学清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学清洗设备技术领域，具体为一种化学清洗装置。

背景技术

在现有的半导体制造工艺中，当经过刻蚀工艺之后，形成有半导体结构的晶圆表面容易产生杂质和聚合物残留，而这些残留的杂质和聚合物容易对后续的处理工艺造成影响，例如沉积工艺。因此，为了排除这些杂质或聚合物，需要在各工艺步骤之间进行清洗工艺。且化学清洗以其节能、高效及实用的特点, 在我国石化企业广泛应用，能够清除包括硫化物、水垢在内的大多数污垢成分，现有的化学清洗装置的清洗液不能够重复的利用，不能够达到节能减排的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题，所具有的有益效果是；化学清洗装置的设置的箱门为玻璃材质的能够对内部清洗的过程进行观察，并在清洗室内部安装的放置架的下侧安装有导轨，能够方便放置架的移动。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学清洗装置，包括箱体和过滤装置，所述箱体的正面设置的箱门通过连接铰链安装在箱体上，所述箱门的一侧边上安装有门扣，所述箱门的下侧安装有控制按钮，所述箱体的一侧边处安装有进液管和出液管，且进液管安装在出液管的上侧，所述箱体的内部设置有两个清洗室，且清洗室的下侧设置有废液存储室，废液存储室的下侧设置有清洗液存储室，所述清洗室的内部安装有放置架，所述过滤装置安装在废液存储室的一侧，且过滤装置通过管道分别与废液存储室和清洗液存储室连通，所述清洗液存储室的一侧安装的水泵通过一侧安装的电动机供能，所述水泵通过供液管与清洗室内的清洗装置本体连接。

优选的，所述水泵和电动机安装在箱体的内部。

优选的，所述放置架的下侧安装有滑轨。

优选的，所述清洗室与废液存储室之间通过管道连通。

优选的，所述废液存储室通过废水排放管与外界连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：化学清洗装置的箱门为玻璃材质，能够对内部清洗的过程进行观察，并在清洗室内部的放置架下侧安装有导轨，能够方便实现放置架的移动，在放置架的内部设置有多个放置槽，方便需要清洗的半导体板的放置，另外，清洗后的废水会存储在废液存储室内，经过过滤处理后，进行再次的使用，能够达到循环利用的效果，起到节能减排的作用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图。

图中：1-连接铰链；2-箱门；3-箱体；4-门扣；5-控制按钮；6-进液管；7-出液管；8-供液管；9-废水排放管；10-水泵；11-电动机；12-清洗装置本体；13-放置架；14-清洗室；15-废液存储室；16-过滤装置；17-清洗液存储室。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种化学清洗装置，包括箱体3和过滤装置16，箱体3的正面设置的箱门2通过连接铰链1安装在箱体3上，箱门2的一侧边上安装有门扣4，箱门2的下侧安装有控制按钮5，箱体3的一侧边处安装有进液管6和出液管7，且进液管6安装在出液管7的上侧，箱体3的内部设置有两个清洗室14，且清洗室14的下侧设置有废液存储室15，废液存储室15的下侧设置有清洗液存储室17，清洗室14的内部安装有放置架13，过滤装置16安装在废液存储室15的一侧，且过滤装置16通过管道分别与废液存储室15和清洗液存储室17连通，清洗液存储室17的一侧安装的水泵10通过一侧安装的电动机11供能，水泵10通过供液管8与清洗室14内的清洗装置本体12连接，水泵10和电动机11安装在箱体3的内部，放置架13的下侧安装有滑轨，清洗室14与废液存储室15之间通过管道连通，废液存储室15通过废水排放管9与外界连通。

工作原理：本实用新型公开了一种化学清洗装置，在使用的过程中，首先要将箱门2打开，将清洗室14内部的放置架13拉出，将需要清洗的半导体板放置在放置架13内的卡槽内，关闭箱门2后，通过安装在箱体3上的控制按钮5控制电动机11和水泵10启动，使得清洗装置12喷洒清洗液，进行清洗的工作，清洗后的废液，进入废液存储室15，在经过过滤装置16过滤，回到清洗液存储室17。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。