[发明专利]配向膜烘干装置

权利要求书

1.一种配向膜烘干装置，用于对基板(10)上的配向液进行烘干，所述基板具有相对的正表面和背表面，所述正表面具有配向液涂布区域，其特征在于，所述配向膜烘干装置包括：

加热板(20)，设置于所述基板(10)的远离所述正表面的一侧；以及

支撑组件(30)，设置于所述加热板(20)的靠近所述基板(10)的一侧，用于支撑所述基板(10)以使所述基板(10)与所述加热板(20)之间具有间隙，所述支撑组件(30)包括：

第一支撑件(310)，设置于所述加热板(20)的靠近所述基板(10)的一侧，用于支撑所述基板(10)；

第二支撑件(320)，沿平行于所述基板(10)的方向可移动地设置于所述第一支撑件(310)的一侧，用于在所述第一支撑件(310)下降至所述第二支撑件(320)下方时支撑所述基板(10)。

2.根据权利要求1所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述第二支撑件(320)包括本体部(321)和支撑部(322)，所述本体部(321)沿平行于所述基板(10)的方向可移动地设置于所述第一支撑件(310)的一侧，所述支撑部(322)固定设置于所述本体部(321)上。

3.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述配向膜烘干装置还包括设置于所述加热板(20)上的安装支架(40)，所述安装支架(40)与所述本体部(321)的两端连接，用于支撑所述第二支撑件(320)。

4.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述配向膜烘干装置还包括：

驱动装置，与所述本体部(321)连接，用于驱动所述本体部(321)沿平行于所述基板(10)的方向移动，优选所述驱动装置为气缸；

控制系统，与所述驱动装置电连接，用于控制所述驱动装置，以使所述驱动装置驱动所述本体部(321)运动，优选所述控制系统为PLC系统。

5.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述本体部(321)为线状结构或杆状结构，所述支撑部(322)贯穿所述本体部(321)设置，优选所述支撑部(322)为球状结构。

6.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述本体部(321)的耐热温度范围为60～120℃，所述本体部(321)的热传导系数为0～0.5w/m²·k。

7.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述支撑部(322)的耐热温度范围为60～120℃，所述支撑部(322)的热传导系数为0～0.5w/m²·k，优选所述支撑部(322)由隔热材料制成。

8.根据权利要求2所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述第二支撑件(320)还包括覆盖于所述本体部(321)表面的保护层(323)，且所述支撑部(322)突出于所述保护层(323)设置，优选所述保护层(323)的耐热温度大于80℃，更优选形成所述保护层(323)的材料为PEEK。

9.根据权利要求1所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述第一支撑件(310)由支撑头(311)和支撑杆(312)组成，所述支撑杆(312)贯穿所述加热板(20)设置，且所述支撑杆(312)远离所述加热板(20)的一端与所述支撑头(311)连接，所述支撑头(311)用于支撑所述基板(10)，优选所述支撑头(311)由隔热材料制成。

10.根据权利要求9所述的配向膜烘干装置，其特征在于，所述支撑头(311)顶端的直径为0.1～0.5mm。