[发明专利]针式元件处理装置

说明书

本发明公开了一种针式元件处理装置，包括：导轨、夹具和处理槽，其中，导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道，第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差；夹具包括：支撑机构和抵压机构，其中，支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置，支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动，第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动，另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动；处理槽用于盛放针式元件处理液，夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。本发明能够方便地夹持针式元件使其进行各种处理。本发明结构简单，易于实施。

技术领域

本发明涉及一种针式元件处理装置。

背景技术

半导体元器件上有针式元件，该针式元件的表面需要经过电镀、清洗等工序，为此，针式元件需要一种夹持工具，使得针式元件能顺利地进行电镀、清洗等工序。但是，目前没有一种很好的机械结构能达到上述功能。现有的夹持装置结构复杂、效率低下，不能很好地完成针式元件的各种加工工序。

发明内容

本发明为克服现有技术的不足，提供一种针式元件处理装置。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

一种针式元件处理装置，包括：导轨、夹具和处理槽，其中，

导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道，第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差；

夹具包括：支撑机构和抵压机构，其中，支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置，支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动，第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动，另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动；

处理槽用于盛放针式元件处理液，夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。

根据本发明的一个实施方案，所述的夹具还包括弹性复位装置，支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对运动使弹性复位装置变形引起其弹性变形力变化，变化了的弹性变形力使支撑机构和/或抵压机构具有复位的趋势。

根据本发明的一个实施方案，所述的夹具还包括零件固定机构，零件固定机构用于固定针式元件，支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动以共同夹持零件固定机构，夹持零件固定机构后，将针式元件浸入到处理槽中进行处理，支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动以松开零件固定机构。

根据本发明的一个实施方案，所述的支撑机构与抵压机构于竖直方向上可相对运动地设置即可，既可以设置支撑机构固定、抵压机构可活动地设置，也可以设置支撑机构可活动地设置、抵压机构固定；还可以支撑机构与抵压机构均可活动地设置，并且支撑机构的运动幅度小于抵压机构的运动幅度。

根据本发明的一个实施方案，所述的第一轨道和第二轨道由斜向轨道连接。

根据本发明的一个实施方案，所述的抵压机构沿导轨滑动地设置，抵压机构位于零件固定机构上方并可升降地设置；抵压机构于第一轨道滑动时，第一轨道使抵压机构相对支撑机构上抬以松开零件固定机构，抵压机构于第二轨道滑动时，抵压机构下降并将零件固定机构抵压在支撑机构上。

根据本发明的一个实施方案，所述的抵压机构于第一轨道处上升时使弹性复位装置弹性变形而产生弹性变形力，弹性变形力使抵压机构于第二轨道滑动时复位。

根据本发明的一个实施方案，所述的弹性复位装置为拉伸弹簧，拉伸弹簧与抵压机构相连，抵压机构抵压零件固定机构，抵压机构上升后松开零件固定机构并使拉伸弹簧拉伸而使其弹性变形力变化。