[发明专利]针式元件处理装置在审
申请号: | 201711496501.3 | 申请日: | 2017-12-31 |
公开(公告)号: | CN108045937A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 王振荣;戴志文;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强;倪嘉慧 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件 处理 装置 | ||
1.一种针式元件处理装置,其特征在于,包括:导轨、夹具和处理槽,其中,
导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道,第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差;
夹具包括:支撑机构和抵压机构,其中,支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置,支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动,第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动,另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动;
处理槽用于盛放针式元件处理液,夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。
2.根据权利要求1所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的夹具还包括弹性复位装置,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对运动使弹性复位装置变形引起其弹性变形力变化,变化了的弹性变形力使支撑机构和/或抵压机构具有复位的趋势。
3.根据权利要求1或2所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的夹具还包括零件固定机构,零件固定机构用于固定针式元件,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动以共同夹持零件固定机构,夹持零件固定机构后,将针式元件浸入到处理槽中进行处理,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动以松开零件固定机构。
4.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的第一轨道和第二轨道由斜向轨道连接。
5.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构沿导轨滑动地设置,抵压机构位于零件固定机构上方并可升降地设置;抵压机构于第一轨道滑动时,第一轨道使抵压机构相对支撑机构上抬以松开零件固定机构,抵压机构于第二轨道滑动时,抵压机构下降并将零件固定机构抵压在支撑机构上。
6.根据权利要求5所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构于第一轨道处上升时使弹性复位装置弹性变形而产生弹性变形力,弹性变形力使抵压机构于第二轨道滑动时复位。
7.根据权利要求6所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的弹性复位装置为拉伸弹簧,拉伸弹簧与抵压机构相连,抵压机构抵压零件固定机构,抵压机构上升后松开零件固定机构并使拉伸弹簧拉伸而使其弹性变形力变化。
8.根据权利要求6所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构包括:压杆和设置于压杆上的转动轮,其中,压杆可升降地设置且与弹性复位装置相连,转动轮沿导轨转动地设置,转动轮滑动至第一轨道时,第一轨道上抬转动轮,转动轮带动压杆上升且弹性复位装置产生弹性变形力,转动轮滑动至第二轨道时,弹性复位装置的弹性变形力使压杆复位下降。
9.根据权利要求8所述的针式元件处理装置,其特征在于,还包括导向装置,抵压机构升降时导向。
10.根据权利要求9所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的导向装置为导向盒,抵压机构贯穿导向盒并可升降地设置。
11.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的零件固定机构为杆状,垂直于零件固定机构的轴向上设有若干固定孔,针式元件可于固定孔上地设置。
12.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构的数量至少为两个,分别支撑零件固定机构两端。
13.根据权利要求12所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构数目为两个,每个支撑机构包括支撑座,两个支撑座支撑零件固定机构两端。
14.根据权利要求13所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构还包括支撑杆,支撑座设置在支撑杆下端并沿水平方向突出于支撑杆。
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