[发明专利]SC石英晶棒X光定向粘板机及其一次粘结定位方法

权利要求书

1.一种SC石英晶棒X光定向粘板机，包括粘板机台面，粘板机台面上设有粘板夹具组合；其特征在于：所述的粘板夹具组合的两侧分别设有第一X光射线管、第一计数管；粘板夹具组合的上方设有显示板；粘板夹具组合顶部两侧分别设有第二X光射线管、第二计数管；粘板夹具组合设有旋转工作台，旋转工作台连接固定夹具大托板，夹具大托板作为其他部件的连接基础，夹具大托板的中心处设置料板；料板通过滑动导轨与夹具大托板连接固定；料板的两侧均设置晶棒紧固夹具，料板一侧的晶棒紧固夹具通过燕尾导轨座、燕尾滑块与夹具大托板连接，燕尾导轨座、燕尾滑块通过燕尾调节板调整位置；料板另一侧的晶棒紧固夹具通过支撑滑块、支撑导轨与夹具大托板连接固定，上下定位螺钉固定支撑滑块的位置。

2.根据权利要求1所述的SC石英晶棒X光定向粘板机，其特征在于：所述的大托板在料板的一侧设有料板基准弯板，料板基准弯板与滑动导轨共同限定料板。

3.根据权利要求1所述的SC石英晶棒X光定向粘板机，其特征在于：所述的支撑滑块设有旋转定位板，旋转定位板对晶棒紧固夹具的固定位置进行限定。

4.根据权利要求1-3任意权利要求所述的SC石英晶棒X光定向粘板机的一次粘结定位方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将晶棒紧固夹具、第一定位顶尖、第二定位顶尖和料板基准弯板均擦拭干净，把料板轻轻放到粘板机的滑动导轨上，把一块已去掉±X面扒皮的晶棒表面清洁；晶棒+X面向着标记方向，放入晶棒紧固夹具内固定好；另外将一块垫板和料板先粘结好，放在一旁；

（2）轻轻调节4个紧固调整螺钉将晶棒的X面接触到一次定向的第一定位顶尖，打开第一X光射线管的光闸，调节紧固调整螺钉，使μA表使峰值达到最大，关闭光闸，将4个紧固螺钉紧固好；

（3）将晶棒紧固夹具和紧固好晶棒通过旋转工作台一起转动，首先将燕尾滑块连着晶棒、晶棒紧固夹具与支撑滑块轻轻向上移动，调节好其位置，然后紧固好上下定位螺钉；其次将旋转销轴手柄撤出，此时晶棒和晶棒紧固夹具可同时旋转，慢慢旋转机械式的分度盘使晶棒 Z面接触到二次定向的第二定位顶尖，打开第二X光射线管的光闸，调节机械式的分度盘，使μA表使峰值达到最大，关闭光闸；

（4）将粘好的料板和垫板放在滑动导轨上，在垫板上抹上调好的粘结胶，向前推放到定向完成的晶棒下，将上下定位螺钉松开，将燕尾滑块连着晶棒、晶棒紧固夹具与支撑滑块慢慢向下滑动，使晶棒与垫板接触，再向下移到合适位置的标识点处，之后再紧固下定位螺钉，保持一定的时间，使粘胶固化，松开晶棒紧固夹具上所有的紧固螺钉，将晶棒紧固夹具向上移动，将料板沿滑动导轧移出，整个粘结完成。