[发明专利]等离子体-质谱分析系统及其工作方法在审
| 申请号： | 201711490627.X | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108152358A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 俞晓峰;韩双来;梁炎;徐岳 | 申请（专利权）人： | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04;H01J49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子偏转 等离子体 质谱分析系统 离子 取样锥 出射 阀门 矩管 阀门设置 质谱分析仪 单元偏转 偏转单元 竖直向上 真空单元 粒子 检测 出口 | ||
1.一种等离子体-质谱分析系统，所述等离子体-质谱分析系统包括质谱分析仪；其特征在于：所述等离子体-质谱分析系统进一步包括：
矩管，所述矩管的出口竖直向上；
取样锥，所述取样锥设置在所述矩管的离子出射方向上；
第一阀门，所述第一阀门设置在所述离子出射方向上，且处于所述取样锥的下游；
离子偏转单元，所述粒子偏转单元设置在离子出射方向上，且处于第一阀门的下游，经过所述离子偏转单元后，离子偏转角度α；
第二阀门，所述第二阀门设置在经过所述离子偏转单元偏转后的离子方向上。
2.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统，其特征在于：所述第一阀门和/或第二阀门采用滑动阀。
3.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统，其特征在于：所述取样锥包括依次设置的第一取样锥和第二取样锥。
4.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统，其特征在于：角度
5.根据权利要求1所述的等离子体-质谱分析系统，其特征在于：所述离子偏转单元采用偏转电场。
6.根据权利要求1-5任一所述的等离子体-质谱分析系统的工作方法，所述工作方法为：
(A1)在所述聚光点燃等离子体且移动到设定位置后，所述第一阀门打开；
离子和中性粒子从所述矩管出射并竖直向上运动，依次穿过所述取样锥和第一阀门后进入所述粒子偏转单元，离子在所述离子偏转单元内发生偏转，所述中性粒子按照原运动方向继续向上运动；
(A2)在离子接口真空达到设定后，再打开所述第二阀门；
偏转后的离子穿过所述第二阀门，进入下游；
(A3)矩管关闭，所述第一阀门和第二阀门关闭。
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