[发明专利]金属识别装置

说明书

本发明公开一种金属识别装置，其中该金属识别装置包括第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度。本发明的金属识别装置可提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。

技术领域

本发明涉及曝光机技术领域，特别涉及一种金属识别装置。

背景技术

曝光机需要准确识别对位记号，才能够实现曝光，从而保证图形位置精度。但是在实际制程中，由于各种非金属膜层的绝缘体覆盖在金属记号上，导致识别时，对位记号与周围膜层边界模糊，识别金属记号困难，识别的有效性低，常规方法是调整对位光波长和强度进行识别，但是仍存在辨识度小无法识别的状况，需要多次调整对位光波长和强度，识别的效率低。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种金属识别装置，旨在提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。

为实现上述目的，本发明提出一种金属识别装置，该金属识别装置包括第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度。

优选地，待识别物体呈水平设置，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为0°至90°。

优选地，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体的入射角度范围为50°至60°。

优选地，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为0°至90°。

优选地，所述光源接收器接收的反射光的角度范围为50°至60°。

优选地，所述第一驱动机构驱动光源接收器移动时，所述第二驱动机构同步驱动所述光源接收器对称移动。

优选地，该金属识别装置还包括偏振镜，所述偏振镜设于所述待识别物体和所述光源接收器之间，待识别物体的反射光透过偏振镜到达光源接收器。

优选地，所述偏振镜为平行偏振镜。

优选地，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均为连杆机构或齿轮机构。

优选地，该金属识别装置还包括壳体，所述第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器均置于所述壳体内。

本发明技术方案通过第一驱动机构、光源发射器、第二驱动机构及光源接收器，所述光源发射器发射的光线射入待识别物体，并从待识别物体反射，所述光源接收器接收待识别物体对应的反射光，所述第一驱动机构驱动连接所述光源发射器，以调节所述光源发射器的光源入射角度，所述第二驱动机构驱动连接所述光源接收器，以调节所述光源接收器的接收角度，以此提高对金属记号的辨识度，增强识别的效率和有效性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明金属识别装置一实施例的简化结构示意图；

图2为图1金属识别装置调节后的简化结构示意图；

图3为金属与绝缘体在光源入射不同角度下的反射特性图。

附图记号说明：