[发明专利]光学测试装置在审

专利信息
申请号: 201711482344.0 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108562540A 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 张维维 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;武岑飞
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光学测试装置 样品光 聚光机构 透光孔 汇聚 光斑 样品光路 光源 聚焦
【说明书】:

提供了一种光学测试装置。所述光学测试装置包括样品光路和位于样品光路上并用于放置样品的透光孔,所述样品比所述透光孔小,所述光学测试装置还包括设置在所述样品光路上的聚光机构,以使所述样品光路上的光经所述聚光机构汇聚在所述样品上。本发明的光学测试装置通过汇聚样品光路上的光,缩小光斑的尺寸,从而能够准确聚焦在样品上,在解决样品过小的问题的同时,不降低光源强度。

技术领域

本发明涉及光学技术领域,更具体地讲,涉及一种光学测试的装置。

背景技术

在材料分析测试和半成品分析领域,光学性能为必不可少的一项,紫外可见分光光度计常用来表征紫外区和可见区的光学参数。图1示出了根据现有技术的紫外可见分光光度计的简要光路。如图1所示,由光源1发射紫外光或可见光并分为样品光路2和参比光路3。其中,参比光路3进入检测器4,样品光路2穿过样品5到达检测器4,可以通过与参比光路3光强的对比得到样品5的透过率等光学信息。由材料的光学性能结果进行性能改善或者问题解决。

图2示出了根据现有技术的图1中的样品放置部分的左视图,图3示出了根据现有技术的在图2的样品放置部分上放置正常样品后的示意图,图4示出了根据现有技术的在图2的样品放置部分上放置小样品后的示意图。

如图2所示,样品5放置在透光孔(或称为光圈)6上,在紫外可见分光光度计中,透光孔6为直径约2cm的圆形孔,采用夹片7固定。

参照图3,当样品5比透光孔6大时,可以直接将样品5放置在透光孔6上。然而,如图4所示,在实际测试过程中,样品的大小往往难以达到2cm。当样品5的大小不能完全覆盖透光孔6时,样品5与透光孔6之间形成空白区61,因此,如图1所示的样品光路2上的光在穿过样品5的同时也穿过空白区,从而会影响测试结果的准确性。目前解决的方式有以下两种。

图5示出了根据现有技术的一种改进的紫外可见分光光度计的示意图。参照图5,一种解决方式是在光源1处放置遮光板(或称为光源罩、光罩)8,用于缩小光源光圈至样品大小,使样品光路2上的光仅仅可以穿过样品5,而不会穿过样品5和透光孔6之间的空白区61(参见图4)。此种方式可以解决样品过小的问题,但是涉及打开设备主机内部光路,多次取放光罩8会对设备的光路产生不良影响。而且,部分仪器设备厂家的内部光路不能由设备操作员打开,只能由设备维修工程师开启,因此部分设备不适用在内部光源处安放光罩8的方法。

图6示出了根据现有技术的另一种改进的紫外可见分光光度计的示意图。参照图6,另外一种解决方式是在样品光路2和参比光路3的出光口处分别放置光罩8,用于遮挡出光口处的光源直径,使出光口处的光圈直径减小至样品大小,从而使样品光路2上的光不透过样品5和透光孔6之间的空白区61(又称为透光区)。对于这种方式,由于光学数据的计算时依照样品光路2的测试值与参比光路3比较得出,为了保证遮光程度一致,需要保证样品光路2和参比光路3的光罩8的透光区的尺寸和放置位置完全相同,以避免出现光罩尺寸透光区尺寸大小偏差或者位置偏差,造成数据错误。因此,这种解决方式对光罩的制作精度和人员操作均有极高的要求。

上述两种方式虽然可以解决样品5过小的问题,但是均存在一些弊端,并且,无论是在光源处还是出光口处加遮光罩8,都会降低光源的强度,对于某些样品(比如透光率低的样品),光源强度低,数据准确性会降低。

因此,亟需开发一种新的解决方案,在解决样品过小的问题的同时,不降低光源强度,提升数据准确性。

发明内容

本发明的示例性实施例在于提供一种新的光学测试装置,以克服现有技术中的问题。

本发明提供了一种光学测试装置,包括样品光路和位于样品光路上并用于放置样品的透光孔,所述样品比所述透光孔小,所述光学测试装置还包括设置在所述样品光路上的聚光机构,以使所述样品光路上的光经所述聚光机构汇聚在所述样品上。

可选地,所述聚光机构可以包括一个或多个凸透镜。

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