[发明专利]一种真空度测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及检验检测技术领域，特别涉及一种真空度测量装置。

背景技术

真空计又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。皮拉尼真空计也称电阻式真空规，其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。现有的皮拉尼真空计大多采用直线型热细丝，而在测量过程中，经常会有不可控的振动，会对真空计中的热细丝产生影响，导致其断裂，从而影响检测。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明目的在于提供一种可有效抵御外部振动，防止热细丝断裂的真空度测量装置。

一种真空度测量装置，包括本体，所述本体包括外壳和所述外壳包围的容纳腔，所述容纳腔的一端设有开口，另一端安装有密封端子，所述开口安装有密封连接件，所述容纳腔内安装有热细丝、支撑所述热细丝的第一支撑机构、固定所述第一支撑机构的绝缘固定件、第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构电连接，所述第二支撑机构穿过所述密封端子与外部控制电路电连接，所述外壳安装有温度传感器，所述温度传感器与所述外部控制电路连接。

作为本发明的进一步改进，所述容纳腔内靠近所述开口处固定安装有空气过滤机构。

作为本发明的进一步改进，所述空气过滤机构为烧结过滤器。

作为本发明的进一步改进，所述第一支撑机构包括分别支撑所述热细丝两端的第一支撑件和第二支撑件，所述第二支撑机构包括与所述第一支撑件电连接的第三支撑件、与所述第二支撑件电连接的第四支撑件。

作为本发明的进一步改进，所述第三支撑件和第四支撑件结构相同，均为弧形且对称设置。

作为本发明的进一步改进，所述密封连接件为固定法兰。

作为本发明的进一步改进，所述容纳腔为筒状。

作为本发明的进一步改进，所述热细丝为螺旋形结构。

本发明的有益效果：

(1)本发明的真空度测量装置通过设置第一支撑机构支撑热细丝，并通过绝缘固定件固定该第一支撑机构，再通过与外部控制电路连接的第二支撑件与该第一支撑机构连接，可以保证在振动时，该热细丝与第一支撑机构同步振动，防止热细丝被拉断。

(2)其次，热细丝为螺旋形结构，可以有效防止振动，避免被拉断，同时增加了接触面积，缩小了整个装置的长度，节约了成本。

(3)同时，第二支撑机构设置为结构相同的两个弧形支撑件，弧形结构可以有效减震。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本发明实施例中真空度测量装置的结构示意图。

标记说明：10、外壳；20、容纳腔；21、开口；22、密封端子；23、绝缘件；30、固定法兰；40、烧结过滤器；50、热细丝；61、第一支撑件；62、第二支撑件；70、绝缘固定件；81、第三支撑件；82、第四支撑件；91、控制电路；92、温度传感器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。