[发明专利]QFN封装体底部防镀处理方法在审

专利信息
申请号: 201711473328.5 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108364875A 公开(公告)日: 2018-08-03
发明(设计)人: 徐华 申请(专利权)人: 合肥通富微电子有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/522
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 粘胶层 载具 表面形成金属 双面粘胶层 表面形成 减少设备 人体健康 油墨喷涂 移除 油墨 正装 薄膜 申请 伤害 替代
【说明书】:

本申请公开了一种QFN封装体底部防镀处理方法,包括以下步骤:提供第一载具,在第一载具表面形成粘胶层,粘胶层为双面粘胶层;在粘胶层上正装至少一个QFN封装体;在QFN封装体的表面形成金属薄膜;移除第一载具和设置在第一载具表面的粘胶层。本申请中采用粘胶层保护QFN封装体的底部方式,替代油墨喷涂的方式,有效提高产品的品质,避免油墨对人体健康造成的伤害,另外还缩短工序,减少设备投入,降低生产成本。

技术领域

本公开一般涉及半导体技术,具体涉及半导体工艺,尤其涉及QFN封装体底部防镀处理方法。

背景技术

目前针对QFN(Quad Flat No-leadPackage,方形扁平无引脚封装)类塑封产品进行信号屏蔽防干扰处理的诸多方法中,有一种对其表面使用不锈钢和铜靶材溅镀的工艺,镀上金属薄膜以达到屏蔽信号的目的。在使用此工艺时为避免QFN封装体的底部被溅镀,在溅镀前需要对QFN封装体的底部进行保护。

目前对QFN封装体的底部采用油墨喷涂的方式以对QFN封装体的底部起到保护作用,在溅镀后使用溶剂移除油墨,采用油墨喷涂的制程至少涉及13道工序,依次包括:对PCB板喷涂油墨、对载具喷涂油墨、UV灯照射检查PCB板、UV灯照射检查载具、对PCB板油墨烘烤、对载具油墨烘烤、治具切割、去离子吹洗、将塑封产品贴装在在油墨喷涂后的载具上、溅镀、从载具上取下塑封产品、移除油墨、浸泡载具等。通过这样的工艺确保QFN封装体底部的焊盘能在后续焊接时正常使用。

其中,对QFN封装体的底部采用油墨喷涂的方式,容易造成产品外观的镀层脱落以及产生发黑发亮等不良影响,对产品的品质有一定的影响;再者,油墨本身就是化学材料且含有毒素(二甲苯),在作业中会对作业员的健康有一定伤害;另外,在生产过程中,油墨喷涂的制程较长,所涉及工序的机台、耗材和人力成本都很高。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种QFN封装体底部防镀处理方法。

本发明提供一种QFN封装体底部防镀处理方法,包括以下步骤:

提供第一载具,在所述第一载具表面形成粘胶层,所述粘胶层为双面粘胶层;

在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体;

在所述QFN封装体表面形成金属薄膜;

移除所述第一载具和设置在所述第一载具表面的粘胶层。

优选的,所述在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体包括:

所述第一载具上设置有至少一个第一通孔,所述粘胶层上设有与所述第一通孔相对应的第二通孔,在每个所述第二通孔处正装一个QFN封装体。

优选的,所述在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体还包括:

所述粘胶层包覆所述QFN封装体的底部边缘。

优选的,所述移除所述第一载具和设置在所述第一载具表面的粘胶层包括:

提供第二载具,所述第二载具上设置有至少一个容纳通槽;

翻转倒置所述第一载具,表面覆盖有金属薄膜的QFN封装体倒置在所述第二载具上,所述容纳通槽与倒置的第一通孔一一对应;

通过顶针穿过所述第一载具和所述粘胶层,所述顶针将QFN封装体从所述粘胶层上顶出,表面覆盖有金属薄膜的QFN封装体嵌入相应的容纳通槽内。

优选的,所述粘胶层为导热发泡胶层。

优选的,所述在所述QFN封装体表面形成金属薄膜包括:

对所述QFN封装体的表面进行溅镀,形成覆盖所述QFN封装体表面的金属薄膜。

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