[发明专利]QFN封装体底部防镀处理方法在审
申请号: | 201711473328.5 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108364875A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 徐华 | 申请(专利权)人: | 合肥通富微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/522 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 230000 安徽省合肥市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粘胶层 载具 表面形成金属 双面粘胶层 表面形成 减少设备 人体健康 油墨喷涂 移除 油墨 正装 薄膜 申请 伤害 替代 | ||
本申请公开了一种QFN封装体底部防镀处理方法,包括以下步骤:提供第一载具,在第一载具表面形成粘胶层,粘胶层为双面粘胶层;在粘胶层上正装至少一个QFN封装体;在QFN封装体的表面形成金属薄膜;移除第一载具和设置在第一载具表面的粘胶层。本申请中采用粘胶层保护QFN封装体的底部方式,替代油墨喷涂的方式,有效提高产品的品质,避免油墨对人体健康造成的伤害,另外还缩短工序,减少设备投入,降低生产成本。
技术领域
本公开一般涉及半导体技术,具体涉及半导体工艺,尤其涉及QFN封装体底部防镀处理方法。
背景技术
目前针对QFN(Quad Flat No-leadPackage,方形扁平无引脚封装)类塑封产品进行信号屏蔽防干扰处理的诸多方法中,有一种对其表面使用不锈钢和铜靶材溅镀的工艺,镀上金属薄膜以达到屏蔽信号的目的。在使用此工艺时为避免QFN封装体的底部被溅镀,在溅镀前需要对QFN封装体的底部进行保护。
目前对QFN封装体的底部采用油墨喷涂的方式以对QFN封装体的底部起到保护作用,在溅镀后使用溶剂移除油墨,采用油墨喷涂的制程至少涉及13道工序,依次包括:对PCB板喷涂油墨、对载具喷涂油墨、UV灯照射检查PCB板、UV灯照射检查载具、对PCB板油墨烘烤、对载具油墨烘烤、治具切割、去离子吹洗、将塑封产品贴装在在油墨喷涂后的载具上、溅镀、从载具上取下塑封产品、移除油墨、浸泡载具等。通过这样的工艺确保QFN封装体底部的焊盘能在后续焊接时正常使用。
其中,对QFN封装体的底部采用油墨喷涂的方式,容易造成产品外观的镀层脱落以及产生发黑发亮等不良影响,对产品的品质有一定的影响;再者,油墨本身就是化学材料且含有毒素(二甲苯),在作业中会对作业员的健康有一定伤害;另外,在生产过程中,油墨喷涂的制程较长,所涉及工序的机台、耗材和人力成本都很高。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种QFN封装体底部防镀处理方法。
本发明提供一种QFN封装体底部防镀处理方法,包括以下步骤:
提供第一载具,在所述第一载具表面形成粘胶层,所述粘胶层为双面粘胶层;
在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体;
在所述QFN封装体表面形成金属薄膜;
移除所述第一载具和设置在所述第一载具表面的粘胶层。
优选的,所述在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体包括:
所述第一载具上设置有至少一个第一通孔,所述粘胶层上设有与所述第一通孔相对应的第二通孔,在每个所述第二通孔处正装一个QFN封装体。
优选的,所述在所述粘胶层上正装至少一个QFN封装体还包括:
所述粘胶层包覆所述QFN封装体的底部边缘。
优选的,所述移除所述第一载具和设置在所述第一载具表面的粘胶层包括:
提供第二载具,所述第二载具上设置有至少一个容纳通槽;
翻转倒置所述第一载具,表面覆盖有金属薄膜的QFN封装体倒置在所述第二载具上,所述容纳通槽与倒置的第一通孔一一对应;
通过顶针穿过所述第一载具和所述粘胶层,所述顶针将QFN封装体从所述粘胶层上顶出,表面覆盖有金属薄膜的QFN封装体嵌入相应的容纳通槽内。
优选的,所述粘胶层为导热发泡胶层。
优选的,所述在所述QFN封装体表面形成金属薄膜包括:
对所述QFN封装体的表面进行溅镀,形成覆盖所述QFN封装体表面的金属薄膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造