[发明专利]磷化氢气体净化装置

权利要求书

1.一种磷化氢气体净化装置，其特征在于，包括一可移动的车架(800)，所述车架(800)上设有引风机(300)、对磷化氢气体进行一次净化的一级净化塔(100)和对磷化氢气体进行二次净化的二级净化塔(200)，所述引风机(300)具有抽气口(301)和出风口(302)，所述一级净化塔(100)具有第一进气口(101)和第一出气口(102)，所述二级净化塔(200)具有第二进气口(201)和第二出气口(202)，所述抽气口(301)与密闭货垛内部相连通，所述出风口(302)与所述第一进气口(101)相连通，所述第一出气口(102)与所述第二进气口(201)相连通，所述第二出气口(202)与外界空气相连通。

2.根据权利要求1所述的磷化氢气体净化装置，其特征在于，所述一级净化塔(100)内部具有第一腔体，所述第一腔体的中部设有具有孔隙的第一填料(103)，且所述第一填料(103)将所述第一腔体分隔成位于所述第一填料(103)下方的第一底腔(104)和位于所述第一填料(103)上方的第一顶腔(105)，在所述第一顶腔(105)的腔壁上开设有用于通入清洗液的第一进液口(106)，在所述第一底腔(104)的腔壁上开设有用于导出所述清洗液的第一出液口(107)，所述第一进气口(101)设于所述第一底腔(104)的腔壁上，所述第一出气口(102)设于所述第一顶腔(105)的腔壁上；所述二级净化塔(200)内部具有第二腔体，所述第二腔体的中部设有具有孔隙的第二填料(203)，且所述第二填料(203)将所述第二腔体分隔成位于所述第二填料(203)下方的第二底腔(204)和位于所述第二填料(203)上方的第二顶腔(205)，在所述第二顶腔(205)的腔壁上开设有用于通入清洗液的第二进液口(206)，在所述第二底腔(204)的腔壁上开设有用于导出所述清洗液的第二出液口(207)，所述第二进气口(201)设于所述第二底腔(204)的腔壁上，所述第二出气口(202)设于所述第二顶腔(205)的腔壁上。

3.根据权利要求2所述的磷化氢气体净化装置，其特征在于，所述第一底腔(104)和所述第二底腔(204)内均容装有清洗液(400)，所述第一出液口(107)与所述第二出液口(207)通过第一管道(501)相连通，所述第一进液口(106)与所述第二进液口(206)通过第二管道(502)相连通，所述车架(800)上还设有输液泵(600)，所述输液泵(600)的入口与所述第一管道(501)相连通，所述输液泵(600)的出口与所述第二管道(502)相连通，所述输液泵(600)的入口处安装有第一排污阀(601)，所述输液泵(600)的出口处安装有第二排污阀(602)。

4.根据权利要求3所述的磷化氢气体净化装置，其特征在于，所述引风机(300)的抽气口(301)处安装有第一气体浓度检测器(303)、气体流量检测器(304)和气体流量调节阀(305)；所述输液泵(600)的入口处安装有清洗液浓度检测器(603)、清洗液流量检测器(604)和清洗液流量调节阀(605)；所述第二出气口(202)处安装有第二气体浓度检测器(213)。

5.根据权利要求4所述的磷化氢气体净化装置，其特征在于，所述车架(800)上还设有控制器(700)，所述第一气体浓度检测器(303)、所述气体流量检测器(304)、所述清洗液浓度检测器(603)、所述清洗液流量检测器(604)和所述第二气体浓度检测器(213)均与所述控制器(700)相连接。

6.根据权利要求5所述的磷化氢气体净化装置，其特征在于，所述引风机(300)、所述气体流量调节阀(305)、所述输液泵(600)、所述清洗液流量调节阀(605)、所述第一排污阀(601)和所述第二排污阀(602)均与所述控制器(700)相连接。