[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基板；

下电极连接构件，设置在所述基板上；

下电极，设置在所述下电极连接构件上；

压电层，设置在所述下电极上；

上电极，设置在所述压电层上；

上电极连接构件，使所述上电极电连接到所述基板；及

介电层，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中；

其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部；

所述体声波谐振器还包括延伸部，所述延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出；

所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间，

其中，所述下电极连接构件使所述下电极电连接到所述基板。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述电容器部设置在所述下电极连接构件的外部。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件、所述谐振部和所述基板在所述谐振部之下形成腔；并且

所述电容器部与所述基板分开。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述延伸部从所述下电极延伸。

5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件包括：

锚部，设置在所述基板上；

板部，从所述锚部与所述基板的上表面平行地延伸；及

连接部，设置在所述上电极的上表面上并且连接到所述板部。

6.根据权利要求5所述的体声波谐振器，其中，所述板部的部分用作所述电容器部的上电极。

7.根据权利要求5所述的体声波谐振器，其中，所述锚部的上端部和所述连接部嵌入在所述介电层中。

8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述介电层与所述基板分开并且所述下电极连接构件支撑所述谐振部。

9.根据权利要求8所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件具有环形形状并且支撑所述谐振部的边缘部分。

10.一种体声波谐振器，包括：

基板；

下电极连接构件，设置在所述基板上；

下电极，设置在所述下电极连接构件上；

压电层，设置在所述下电极上；

上电极，设置在所述压电层上；

上电极连接构件，使所述上电极电连接到所述基板；及

介电层，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中；

其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部；

所述体声波谐振器还包括第一延伸部，所述第一延伸部从所述下电极或所述上电极延伸，以从所述谐振部向外突出；

所述第一延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成第一电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述第一延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述第一延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述第一延伸部之上的所述部分之间；

所述体声波谐振器还包括：

第二延伸部，从所述下电极或所述上电极延伸，以与所述第一延伸部分开并且从所述谐振部向外突出；及

第二电容器上电极，设置于在所述第二延伸部之上的所述介电层上；所述第二延伸部、设置在所述第二延伸部之上的所述第二电容器上电极和所述介电层的设置在所述第二延伸部与所述第二电容器上电极之间的部分构成第二电容器部，

其中，所述介电层与所述基板分开。

11.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述第一电容器部和所述第二电容器部设置在所述下电极连接构件的外部。