[发明专利]一种提高光学检测仪器精度的方法与装置

权利要求书

1.一种提高光学检测仪器精度的装置，其特征在于，由投影设备投出标准的特征图像，该特征图像为单条或多条线段或直线，通过反射罩反射在被测样品上表面，或通过透射式光学元件汇聚发散的光线至被测样品表面；

所述装置包括一个显示屏和若干相机，设置在显示屏上方的反射罩或者透射式光学元件用于汇聚光线至被测物表面，设置在被测样品上方相机用于采集被测物中心区域透射光或反射光，设置在被测物体两侧相机用于采集透射光或反射光；

相机为三个；一个设置在被测样品上方相机用于采集被测物中心区域透射光或反射光，另外两个设置在被测物体两侧相机用于采集透射光或反射光。

2.一种提高光学检测仪器精度的方法，其特征在于，设置在显示屏上方的反射罩或者透射式光学元件用于汇聚光线至被测物表面，设置在被测样品上方相机用于采集被测物中心区域透射光或反射光，设置在被测物体两侧相机用于采集透射光或反射光；

检测时，首先由投影设备投出标准的特征图像，该特征图像为单条或多条线段或直线，通过反射罩反射在被测样品上表面，或通过透射式光学元件汇聚发散的光线至被测样品表面；后端对采集图像进行分析，利用亚像素算法计算出对应特征在显示芯片上的位置，并利用几何光学理论计算于投影光线的交点，该交点即为3D位置。