[发明专利]一种含氟清洗液

权利要求书

1.一种含氟清洗液，其特征在于，包括，氟化物、有机胺、含氮杂环物及其聚合物、有机溶剂以及水，其中所述氟化物选自氟化氢和/或氟化氢与碱形成的盐，所述有机胺选自含羟基、氨基和羧基的有机胺中的一种或多种，所述含氮杂环物及其聚合物选自聚乙二胺类、聚(2-乙基-2-唑啉)类、聚乙烯亚胺类、聚苯胺类、聚异丙基丙烯酰胺、壳聚糖、三聚氰胺中的一种或多种，所述氟化物的质量百分比浓度为0.01~20%，所述有机胺的质量百分比浓度为1~15%，所述含氮杂环物及其聚合物的质量百分比浓度为0.01~5%，所述有机溶剂的质量百分比浓度为10~40%，所述水的质量百分比浓度为20~60%。

2. 如权利要求1 所述的清洗液，其特征在于，

所述氟化物选自氟化氢、氟化铵、氟化氢铵、四甲基氟化铵和三羟乙基氟化铵中的一种或多种，所述碱选自氨水、季胺氢氧化物和醇胺中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，

所述含羟基的有机胺为醇胺；所述含氨基的有机胺为有机多胺；所述含羧基的有机胺为氨基的有机酸。

4.如权利要求3所述的清洗液，其特征在于，

所述醇胺选自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的一种或多种；所述有机多胺选自二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺和多乙烯多胺中的一种或多种；所述有机酸选自2-氨基乙酸、2-氨基苯甲酸、亚氨基二乙酸，氨三乙酸和乙二胺四乙酸中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，

所述含氮杂环物及其聚合物的质量百分比浓度为0.05-2%。

6.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，

所述有机溶剂选自亚砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、酰胺和醇中的一种或多种。

7.如权利要求6所述的清洗液，其特征在于，

所述亚砜选自二甲基亚砜、二乙基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种；所述咪唑烷酮选自2-咪唑烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮和1,3-二乙基-2-咪唑烷酮中的一种或多种；所述吡咯烷酮选自N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-环己基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮中的一种或多种；所述醇选自1,2-丙二醇、丙三醇和1,4-丁二醇中的一种或多种。