[发明专利]激光拼接图案结构及其蚀刻布线方法有效
申请号: | 201711429710.6 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN108108052B | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 李文;李兆勇;任小勇 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 范晴;顾天乐 |
地址: | 215634 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 拼接 图案 结构 及其 蚀刻 布线 方法 | ||
1.一种激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,在拼接处,对延长线重合的第一蚀刻线与第二蚀刻线采用直角弯折结构连接;
直角弯折结构包括数个由水平蚀刻线与竖直蚀刻线构成的直角拐角,直角弯折结构中水平蚀刻线与竖直蚀刻线顺次相连、连续走线;
第一蚀刻线、第二蚀刻线以及直角弯折结构通过开启一次激光进行蚀刻形成;
所述直角弯折结构设置于一平面图形中,所述的平面图形包括两组对角;ITO图案单元的一根水平轴线平分所述平面图形的一组对角,且该平面图形的另一组对角关于所述水平轴线对称。
2.根据权利要求1所述的激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述的直角弯折结构包括数个由水平蚀刻线与竖直蚀刻线构成的直角拐角,所述直角弯折结构中水平蚀刻线与竖直蚀刻线顺次相连、连续走线。
3.根据权利要求2所述的激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述的直角弯折结构包括一个直角拐角,构成直角拐角的竖直蚀刻线与第一蚀刻线相连,构成直角拐角的水平蚀刻线与第一蚀刻线相连。
4.根据权利要求3所述激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述直角弯折结构中水平蚀刻线与竖直蚀刻线的长度b相等,b不小于0.2毫米且不大于0.5a毫米,a为平面图形中较长的对角线的长度。
5.根据权利要求3所述激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述平面图形中对称设有2个或4个直角弯折结构。
6.根据权利要求3所述激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述平面图形的数量不少于2个。
7.根据权利要求1所述激光拼接图案结构的蚀刻布线方法,其特征是,所述激光拼接图案结构包括若干按顺序排列连接的ITO图案单元,一次激光开启的蚀刻进程内,激光走线沿钝角或直角进行。
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