[发明专利]基于单根ZnO微米线的非平衡电桥式乙醇气体传感器在审
| 申请号： | 201711407892.7 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108088875A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 冯秋菊;石笑驰;邢妍;李彤彤;李芳;李昀铮;石博 | 申请（专利权）人： | 辽宁师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人： | 闪红霞 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微米线 乙醇气体传感器 非平衡电桥 单根 检测器 化学气相沉积 惠斯通电桥 乙醇气体 制备工艺 制作方便 胶固定 可变桥 灵敏度 桥壁 用银 制备 取出 响应 检测 恢复 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于单根ZnO微米线的非平衡电桥式乙醇气体传感器，由敏感材料与三个定值电阻组成惠斯通电桥，其特征在于：所述敏感材料为直径30~100μm、长度30~40mm 的单根ZnO微米线，所述单根ZnO微米线是按如下步骤制备：
（a）将纯度大于99%的ZnO粉末和活性碳粉按照质量比2：1充分混合制成反应源材料，将反应源材料放入石英舟内，然后再将石英舟放入化学气相沉积系统石英管的中心处；
（b）通入载气氩气，氩气流量为100~300ml/min，当温度加热至950~1100℃时通入氧气，氧气流量为10~100ml/min，生长时间为30分钟；
（c）关闭氧气，保持氩气流量，降温至100℃以下，在石英管出气口处得到ZnO微米线阵列，从ZnO微米线阵列底部剥离出单根ZnO微米线。
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