[发明专利]大功率半导体激光器模块光窗的清洗液及其制备方法、聚四氟乙烯夹具及清洗工艺

权利要求书

1.一种大功率半导体激光器模块光窗的清洗液，其特征在于，主要由浓硫酸、硝酸和重铬酸钾组成。

2.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述浓硫酸和硝酸为MOS级，所述硝酸浓硫酸的用量为3-5L，所述硝酸的用量为100-200ml，所述重铬酸钾为100-150g。

3.如权利要求2所述的清洗液，其特征在于，所述浓硫酸中H₂SO₄的含量为≥95％，所述硝酸中HNO₃的含量≥70％，重铬酸钾的含量≥99.8％。

4.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，浓硫酸、硝酸和重铬酸钾的体积重量比为3.79L:0.15L:120g。

5.一种权利要求1至4中任意一项所述的清洗液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将浓硫酸全部倒入容器内，置于温度为250-350℃的加热台上加热0.5-1.5小时，然后将重铬酸钾缓慢加入容器内，并使用玻璃棒缓慢搅拌，待溶液变成深黄接近黑色时停止搅拌；

2)将容器从加热台上取下，静置降温，然后将冷却的溶液缓慢倒入石英存储容器；

3)再将硝酸倒入石英存储容器，搅拌并静置配制成清洗液。

6.如权利要求5的制备方法，其特征在于，步骤1)中温度为300℃，加热时间为1小时。

7.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤2)中静置时间为4小时，步骤3)中静置时间为5-15分钟。

8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，步骤3)中的静置时间为10分钟。

9.一种利用权利要求1至4中任意一项所述的清洗液，对大功率半导体激光器模块光窗清洗时，使用的夹持所述大功率半导体激光器模块光窗的聚四氟乙烯夹具，其特征在于，包括硅承载盘、卡盘和调节杆，承载盘和卡盘位于调节杆两端，硅承载盘上筛网状漏液孔，用底角螺丝固定在调节杆上，卡盘上有至少个以上的光窗限位孔，卡盘可沿调节杆上下移动，靠几米紧定固定锁死位置。

10.一种大功率半导体激光器模块光窗的清洗工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)将光窗片使用氮气枪或压缩空气枪吹去光窗表面浮尘；

2)根据光窗长度调节权利要求9中所述的聚四氟乙烯夹具的卡盘高度，锁紧，依次将光窗装入卡盘限位孔内；

3)将装好光窗的夹具浸入权利要求1至4中任意一项所述的清洗液中，液面完全淹没光窗，浸泡0.5-1.51小时后，将所述聚四氟乙烯夹具从清洗液中取出，将聚四氟乙烯夹具放入洁净石英杯中，用去离子水冲洗，冲洗完后在红外灯下烘烤光窗表面水分即可。