[发明专利]全压力微小泄漏精密测量系统在审
| 申请号: | 201711382223.9 | 申请日: | 2017-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN107991033A | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
| 发明(设计)人: | 刘波;丁立莉;刘卿 | 申请(专利权)人: | 西安航天计量测试研究所 |
| 主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01M3/28;G01M3/34;G01M3/32 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 汪海艳 |
| 地址: | 710100 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压力 微小 泄漏 精密 测量 系统 | ||
1.全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:包括定容室(3)、高精度差压规(5)、仪表控制单元(6)、配气室(4)、真空泵(7);
所述定容室(3)通过管路、球阀V4(11)与配气室(4)连接;
所述高精度差压规(5)通过管路并联在球阀V4(11)的进口端和出口端;高精度差压规(5)的进口端与出口端分别设有截止阀V2(9)与截止阀V3(10);
所述仪表控制单元(6)与高精度差压规(5)连接;
所述真空泵(7)通过管路、三通密封阀V5(12)与定容室(3)和配气室(4)连接;
被测件(2)通过管路、截止阀V1(8)与定容室(3)连接。
2.根据权利要求1所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:还包括计时器(13),用于测量被测件(2)泄漏时间。
3.根据权利要求2所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:还包括与被测件(2)连接的气源(1)。
4.根据权利要求3所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:各连接处均设有连接头,连接头选取螺纹卡套连接,端面设密封件,密封件采用镍合金垫片。
5.根据权利要求4所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:全部管路均采用316不锈钢材质。
6.根据权利要求5所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:截止阀V1(8)、截止阀V2(9)、截止阀V3(10)、球阀V4(11)、三通密封阀V5(12)的漏气率均小于10-9Pa.m3/s。
7.根据权利要求6所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:所述定容室(3)及配气室(4)的材质为高纯度不锈钢,容积均为0.95-1.05L,漏气率小于10-10Pa.m3/s。
8.根据权利要求7所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:所述高精度差压规(5)的测量精度优于±0.5%FS。
9.根据权利要求8所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:真空泵(7)采用涡漩式干泵,抽速为2.0l/s。
10.根据权利要求9所述的全压力微小泄漏精密测量系统,其特征在于:气源(1)介质为干燥无杂质气体。
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