[发明专利]一种金属遮罩的支撑平台及检测装置

说明书

本发明公开了一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，支撑平台包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。本发明利用气浮板支撑金属遮罩并对金属遮罩吹起，将金属遮罩吹起的高度可以抵消金属遮罩因自身重量产生的下垂量，利用框体内的光源作为背光源，可以抵消金属遮罩产生的反射光的影响，从而确保金属遮罩的检测效果，大大提高金属遮罩的蒸镀成功率。

技术领域

本发明涉及金属蒸镀技术领域，尤其涉及一种金属遮罩的支撑平台及检测装置。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，全称是有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(LiquidCrystal Display，LCD)之后的新型显示技术，AMOLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。

在现有技术中，对AMOLED进行蒸镀是在真空室内，将作为处理对象的AMOLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在AMOLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开孔使其附着于AMOLED基板表面而进行蒸镀。例如，AMOLED基板采用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)蒸镀有机发光材料来制备彩色化像素图案，该精细金属遮罩包括开孔和桥，开孔与需蒸镀的有机发光材料子像素区域精确对位并保持一致，桥用于防止有机发光材料蒸镀到其它区域。当蒸镀红色发光材料时，使精细金属遮罩的开孔正对红色子像素，而绿色子像素和蓝色子像素被遮罩遮挡，这样从蒸镀源发出的红色发光材料就可以仅沉积在红色子像素区；在红色发光材料蒸镀完成后，遮罩平移一个子像素的距离使开孔对准另一颜色的子像素，以此类推完成RGB三基色材料的蒸镀，从而形成彩色化像素图案。

蒸镀为AMOLED的重要关键制程，其金属遮罩的质量关系着蒸镀成功率，所以蒸镀前金属遮罩的检测非常重要。目前，蒸镀金属遮罩检测是将金属遮罩边缘架起，用CCD对整个金属遮罩进行检查；但是因为金属遮罩本身有重量会造成中间部分下沉及金属网格边缘有较强的反射，造成自动光学检测效益不高，常有金属反射的假性缺陷或因光学距焦不好影响检测率。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

本发明的目的在于提出一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，能够补偿金属遮罩因自身重量引起的下垂量。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种金属遮罩的支撑平台，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，

两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；

所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；

所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。

进一步的，各所述出气孔上均设有喷气嘴。

进一步的，所述气浮板的吹气量可以将金属遮罩吹起30～70um。

进一步的，所述气浮板上靠近所述金属遮罩安装件的出气孔的密度为m1，所述气浮板上靠近所述框体的出气孔的密度为m2，m1＜m2。

进一步的，所述气浮板的材质为陶瓷。