[发明专利]连续位相板加工方法及装置有效
申请号: | 201711360800.4 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108098462B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 侯晶;李洁;许乔;王健;钟波;邓文辉;陈贤华;唐才学;温圣林 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B31/10 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 唐维虎 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 位相 加工 方法 装置 | ||
本发明提供了一种连续位相板加工方法及装置,涉及位相板加工技术领域。所述连续位相板加工方法包括:获取不同宽度的磁流变抛光斑;基于所述磁流变抛光斑的不同宽度,对连续位相板的表面周期结构进行分割提取,生成多幅具有不同周期结构的位相板设计图;基于所述多幅不同周期结构的位相板设计图,利用所述不同宽度的磁流变抛光斑对所述连续位相板进行加工,获得加工结果。相对于现有技术,本发明提供的连续位相板加工方法及装置通过获取不同宽度的磁流变抛光斑,并提取连续位相板的不同周期结构进行分别加工,既实现了连续位相板的高精度加工,同时也有效提高了加工效率。
技术领域
本发明涉及位相板加工技术领域,具体而言,涉及一种连续位相板加工方法及装置。
背景技术
连续位相板(Continuous Phase Plates,CPP)是连续分布的衍射光学元件,可对激光系统的输出光束形状、尺寸、均匀性等参数进行有效控制。由于CPP元件具有能量利用率高、焦斑形貌易于控制等优点,CPP作为空间匀滑器件被广泛应用于世界各大激光驱动装置中。但CPP的复杂结构特征和高精度加工要求给CPP的加工带来很大困难,是无法采用传统加工装置和工艺来实现。磁流变抛光技术是一种子口径精密抛光技术,由于它产生的抛光斑在毫米量级尺度,可以实现光学元件小周期结构的精密加工。
目前,现有的加工连续位相板的方法,主要通过子口径抛光技术进行加工,利用的抛光技术主要是数控小工具和磁流变抛光,但是采用数控小工具抛光由于其抛光斑尺寸较大(在十几毫米以上)无法实现小周期结构加工。在采用磁流变加工方式时,对其位相板的多周期结构进行全部加工,这样为实现高精度,必然要采用小的抛光斑,但这样会大大降低加工效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种连续位相板加工方法及装置,其能够有效改善上述问题。
本发明的实施例是这样实现的:
第一方面,本发明实施例提供了一种连续位相板加工方法,所述方法包括:获取不同宽度的磁流变抛光斑;基于所述磁流变抛光斑的不同宽度,对连续位相板的表面周期结构进行分割提取,生成多幅具有不同周期结构的位相板设计图;基于所述多幅不同周期结构的位相板设计图,利用所述不同宽度的磁流变抛光斑对所述连续位相板进行加工,获得加工结果。
第二方面,本发明实施例还提供了一种连续位相板加工装置,其包括获取模块,用于获取不同宽度的磁流变抛光斑;分割模块,用于基于所述磁流变抛光斑的不同宽度,对连续位相板的表面周期结构进行分割提取,生成多幅具有不同周期结构的位相板设计图;加工模块,用于基于所述多幅不同周期结构的位相板设计图,利用所述不同宽度的磁流变抛光斑对所述连续位相板进行加工,获得加工结果。
本发明实施例提供的连续位相板加工方法及装置,首先获取不同宽度的磁流变抛光斑;再基于所述磁流变抛光斑的不同宽度,对连续位相板的表面周期结构进行分割提取,生成多幅具有不同周期结构的位相板设计图;最后基于所述多幅不同周期结构的位相板设计图,利用所述不同宽度的磁流变抛光斑对所述连续位相板进行加工,获得加工结果。和现有技术相比,本发明提供的连续位相板加工方法及装置通过获取不同宽度的磁流变抛光斑,并提取连续位相板的不同周期结构,通过不同宽度的磁流变抛光斑对不同周期结构的连续位相板在同一元件上进行分别加工,既实现了连续位相板的高精度加工,同时也有效提高了加工效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为一种可应用于本发明实施例中的电子设备的结构框图;
图2为本发明第一实施例提供的连续位相板加工方法的流程框图;
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