[发明专利]一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法

权利要求书

1.一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤1、取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中清洗；

步骤2、将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；

步骤3、将经清洗槽一清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中，去除SiNx/AlOx膜及金属离子；

步骤4、将清洗去膜后的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；

步骤5、将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中，利用酸液腐蚀掉原有的金字塔绒面及去除扩散PN结；

步骤6、将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中，清洗前面槽体带进的酸液及将返工片表面的水脱掉；

步骤7、将处理后的返工片吹干，制绒。

2.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤1中，采用HCl/H2O2混合液在常温下清洗，时间为80s-120s。

3.根据权利要求2所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述HCl/H2O2混合液中HCl浓度为3％-6％，H2O2的浓度为4％-8％。

4.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤3中，采用HF/HCl混合液在常温下清洗，时间为400s-800s。

5.根据权利要求4所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述HF/HCl混合液中HF浓度为20％-30％，HCl的浓度为5％-15％。

6.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤2、步骤4中，采用去离子水于常温下清洗，时间为80s-120s，水洗过程中通常温空气鼓泡。

7.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤5中，采用HF/HNO3混合酸液，其中HF浓度为4％-8％，HNO3的浓度为15％-25％，温度控制在6℃-12℃，时间为90s-180s。

8.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤6中，采用去离子水清洗，水温控制在55℃-65℃，时间为120s-180s，通过慢提拉的方式使水与硅片表面实现分离。

9.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤7中，采用温度为80℃-90℃的N2吹干返工片，时间为350s-450s。

10.根据权利要求1所述的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，所述步骤5中，采用HF/HNO3混合酸液清洗返工片时，减重控制在0.15g-0.25g；

所述步骤7中，制绒减重控制在0.25g-0.45g。