[发明专利]磁性角度传感器设备和操作方法

权利要求书

1.一种磁性角度感测系统，包括：

第一磁性感测设备，

第二磁性感测设备，

第三磁性感测设备，

衬底，其中所述第一磁性感测设备，所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备被布置在所述衬底上，

其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备每个被布置为响应于与所述衬底的主表面垂直的磁场分量，

其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备每个包括相同数目的磁性感测元件，

其中所述第二磁性感测设备在所述主表面上布置为鉴于所述第一磁性感测设备围绕参考点顺时针旋转120°，

其中所述第三磁性感测设备在所述主表面上布置为鉴于所述第一磁性感测设备围绕所述参考点逆时针旋转120°，

其中所述磁性感测元件被定向在所述衬底上以具有彼此平行的第一读取方向，

其中所述磁性感测元件被定向在所述衬底上以具有彼此平行的第二读取方向，

其中所述第一读取方向与所述第二读取方向垂直。

2.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述参考点位于半导体器件的表面上，其中所述参考点还位于固定到可旋转轴的磁场源的旋转轴线上。

3.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，

其中所述第二磁性感测设备布置在所述主表面上，其中所述第二磁性感测设备的重心鉴于所述第一磁性感测设备的重心围绕所述参考点顺时针旋转120°，并且

其中所述第三磁性感测设备布置在所述主表面上，其中所述第三磁性感测设备的重心鉴于所述第一磁性感测设备的重心围绕所述参考点逆时针旋转120°。

4.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备中的每个磁性感测设备的所述磁性感测元件与所述磁性感测设备以相同的方式旋转。

5.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中若干磁性感测设备的若干磁性感测元件示出相同的取向和旋转，其中所述若干磁性感测设备包括所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备中的至少一个磁性感测设备。

6.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述磁性感测元件是霍尔板或MAG-FET中的至少一项。

7.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备中的每一个磁性感测设备包括一个磁性感测元件、两个磁性感测元件或四个磁性感测元件。

8.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备中的每个磁性感测设备的所述磁性感测元件布置为矩形形状、布置在直线上或者布置在读取圆圈上。

9.根据权利要求1所述的磁性角度感测系统，其中所述第一磁性感测设备、所述第二磁性感测设备和所述第三磁性感测设备中的每个磁性感测设备的所述磁性感测元件经由互连层并联连接。