[发明专利]一种行波管用的异形结构阴极及其制备方法

权利要求书

1.一种行波管用的异形结构阴极的加工制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、装配工序

首先在发射体(2)的底座(2-2)的上平面、侧面和底面分别涂上焊料；

然后用镊子夹取发射体(2)的底座(2-2)上的两个小孔，将发射体(2)装配进阴极筒(1)内，并使矩形发射凸块(2-1)穿过阴极筒(1)，然后将热丝筒(3)套入到阴极筒(1)内；然后将焊接支撑模具(5)插入热丝筒(3)内顶住热丝筒(3)，并在阴极筒(1)的上部安装压重盖板(6)；

B、焊接工序

步骤A装配好后进行焊接；

C、热丝灌注烧结工序

步骤B焊接结束后，进行热丝灌注烧结；

D、浸渍工序

步骤C热丝灌注烧结工序结束后，将阴极呈水平方向放入盛有氧化铝粉的钼舟(7)内，取适量铝酸盐涂在发射体(2)上，然后按工艺进行浸渍处理；

E、表面处理工序

采用刮刀将残留在发射体(2)表面，发射体(2)与阴极筒(1)接触处台阶和阴极筒(1)平面等部位的铝酸盐去除；然后用砂纸将发射体(2)表面上残余的铝酸盐去除干净；

F、步骤E表面处理结束后，进行蒸涂工序，得到行波管用的异形结构阴极。

2.根据权利要求1所述的行波管用的异形结构阴极的加工制备方法，其特征在于，步骤B焊接工序的具体焊接步骤为：将步骤A中装配好的组件，放置于氢炉中，经1800℃～1950℃高温后，焊料熔化填充于阴极筒与发射体、发射体与热丝筒的缝隙中，使三者完成焊接。

3.根据权利要求2所述的行波管用的异形结构阴极的加工制备方法，其特征在于，步骤C所述的热丝灌注烧结工序为：首先取氧化铝粉20～30g，过80目筛，将棉胶加入氧化铝粉中制备氧化铝粉悬浊液，再将热丝放入热丝筒内，保持热丝竖直，用胶头滴管吸取氧化铝粉悬浊液滴入热丝筒内，静置30～40min，放入离心机中离心，离心后取出，再滴入悬浊液，再离心，直至将热丝筒灌满氧化铝粉浆料；最后将灌注好的阴极热丝组件烘干，烘干后放入氢炉中，经1600℃～1800℃高温烧结0.5小时～2小时，降温后取出，完成热丝灌注烧结。

4.根据权利要求2所述的行波管用的异形结构阴极的加工制备方法，其特征在于，步骤D浸渍工序，将阴极呈水平方向放入盛有氧化铝粉的钼舟内，取铝酸盐涂在发射体(2)上，然后进行浸渍处理，具体步骤为：将阴极用铝酸盐研磨成粉末状，过80目筛，再用棉胶调成糊状，涂抹于阴极发射体上面，最后烘干，烘干后置于氢炉中，经1690℃～1760℃高温处理1分钟～10分钟，使铝酸盐浸入阴极发射体中，阴极发射体内部呈海绵体结构，有诸多孔洞，降温后取出。

5.根据权利要求2所述的行波管用的异形结构阴极的加工制备方法，其特征在于，步骤F的蒸涂工序的具体步骤为：将表面处理后的阴极热丝组件固定于蒸涂模具中，再放入蒸涂台中，先对蒸涂台抽真空，再充入高纯氮气，然后启动蒸涂台，生成等离子体，刻蚀阴极表面30min～60min，最后利用等离子体溅射Os靶，使Os原子逸出并沉积在阴极表面15min～30min，完成对阴极表面的覆膜工作。