[发明专利]一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置。

背景技术

静电悬浮加速度计在整机联调，及在地面利用重力分量法开展量程、标度因数及噪声测试标定时，均需利用精密水平调整试验台调整保证重力加速度在加速度计敏感轴方向的分量，保证加速度计工作在量程线性区。对精密水平试验台角度调节精度及系统稳定性有很高的要求。

现有技术中的自动调平机构有的采用了电机丝杠加螺母、压电陶瓷或者凸轮机构在承件台下的三点或四点调平工件，但是由于丝杠螺母存在间隙，而压电陶瓷有空回，凸轮机构稳定性不好，因此难以达到很高的精度，整体效率不高。

发明内容

本发明其目的就在于提供一种精密水平调节装置，解决了整体调平精度不高以及调平机构稳定性不足的问题，具有稳定性好、平台调节精度高的特点，保证了调节平台的调节精度。

实现上述目的而采取的技术方案，一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，包括具有微调功能的上平板、具有粗调功能的中平板、安装底座下平板，所述上平板和中平板之间连接1#十字轴机构，中平板和下平板之间设有2#十字轴机构、直线驱动器，所述上平板上设有1#在线位置测量传感器，中平板上设有2#在线位置测量传感器、执行机构线位移促动器、预紧弹簧，所述预紧弹簧一端与上平板边缘刚性连接，预紧弹簧的另一端与中平板刚性连接，所述的1#十字轴连接机构通过1#连接块与上平板刚性连接，1#十字轴连接机构通过2#连接块与中平板刚性连接，所述的2#十字轴连接机构通过3#连接块与中平板刚性连接，2#十字轴连接机构通过4#连接块与下平板刚性连接。

有益效果

与现有技术相比本发明具有以下优点。

1、上平板与中平板、中平板与下平板之间均用十字轴机构相连，保证了整个系统的稳定性要求；

2、采用线位移促动器推动球体，进而推动斜块，讲线位移促动器的直线运动转化为上平板的圆弧运动，有效的提高了整个平台调节精度；

3、在具有精调功能的上平台之间用弹簧预紧，保证球体与斜块的紧密贴合，保证了调节平台的调节精度；

4、可长时间稳定性可靠工作。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步详述。

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明去除上平板和在线位置测量传感器之后的结构示意图。

具体实施方式

一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，包括具有微调功能的上平板1、具有粗调功能的中平板2、安装底座下平板3，如图1、图2所示，所述上平板1和中平板2之间连接1#十字轴机构4，中平板2和下平板3之间设有2#十字轴机构12、直线驱动器11，所述上平板1上设有1#在线位置测量传感器14，中平板2上设有2#在线位置测量传感器15、执行机构线位移促动器10、预紧弹簧9，所述预紧弹簧9一端与上平板1边缘刚性连接，预紧弹簧9的另一端与中平板2刚性连接，所述的1#十字轴连接机构4通过1#连接块5a与上平板1刚性连接，1#十字轴连接机构4通过2#连接块5b与中平板2刚性连接，所述的2#十字轴连接机构12通过3#连接块13a与中平板2刚性连接，2#十字轴连接机构12通过4#连接块13b与下平板3刚性连接。

所述的直线驱动器11设有2个，2个直线驱动器11一端按照X、Y正交安装在下平板3上，2个直线驱动器11的另一端与中平板2球角相连，将直线驱动器11的直线运动转化为中平板2的弧线运动，从而实现下平台的粗调功能。

所述执行机构线位移促动器10设有2个，2个执行机构线位移促动器10安装在中平板2上，执行机构线位移促动器10的顶端与球体7刚性连接，执行机构线位移促动器10直线驱动时，将推动球体7在导轨滑块组件16上作直线运动，球体7顶端与斜块6接触，从而推动斜块7作圆弧运动，斜块7与上平板2刚性连接，进而推动上平板2作圆弧运动，所述执行机构线位移促动器10的步长为50nm-300nm，具有稳定性高和精度高等特点，通过该结构实现上平台的精调功能。

所述的执行机构线位移促动器10、滑块导轨组件16、球体7及斜块6均是按照X、Y正交方位安装，与直线驱动器11安装位为同方向。

所述的预紧弹簧9安装在执行机构线位移促动器10的两侧，对称安装，执行机构线位移促动器10的一端与上平板1刚性相连，执行机构线位移促动器10的另一端与中平板2刚性相连，在上平台调节过程中始终是处于拉紧状态，在上平板1及中平板2之间提供一个预紧力，保证球体7及斜块6时刻处于紧密贴合状态，实现上平台的精调功能。