[发明专利]一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置

权利要求书

1.一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，包括具有微调功能的上平板（1）、具有粗调功能的中平板（2）、安装底座下平板（3），其特征在于，所述上平板（1）和中平板（2）之间连接1#十字轴机构（4），中平板（2）和下平板（3）之间设有2#十字轴机构（12）、直线驱动器（11），所述上平板（1）上设有1#在线位置测量传感器（14），中平板（2）上设有2#在线位置测量传感器（15）、执行机构线位移促动器（10）、预紧弹簧（9），所述预紧弹簧（9）一端与上平板（1）边缘刚性连接，预紧弹簧（9）的另一端与中平板（2）刚性连接，所述的1#十字轴连接机构（4）通过1#连接块（5a）与上平板（1）刚性连接，1#十字轴连接机构（4）通过2#连接块（5b）与中平板（2）刚性连接，所述的2#十字轴连接机构（12）通过3#连接块（13a）与中平板（2）刚性连接，2#十字轴连接机构（12）通过4#连接块（13b）与下平板（3）刚性连接。

2.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的直线驱动器（11）设有2个，2个直线驱动器（11）一端按照X、Y正交安装在下平板（3）上，2个直线驱动器（11）的另一端与中平板（2）球角相连，将直线驱动器（11）的直线运动转化为中平板（2）的弧线运动，从而实现下平台的粗调功能。

3.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述执行机构线位移促动器（10）设有2个，2个执行机构线位移促动器（10）安装在中平板（2）上，执行机构线位移促动器（10）的顶端与球体（7）刚性连接，执行机构线位移促动器（10）直线驱动时，将推动球体（7）在导轨滑块组件（16）上作直线运动，球体（7）顶端与斜块（6）接触，从而推动斜块（7）作圆弧运动，斜块（7）与上平板（2）刚性连接，进而推动上平板（2）作圆弧运动，所述执行机构线位移促动器（10）的步长为50nm-300nm，具有稳定性高和精度高等特点，通过该结构实现上平台的精调功能。

4.根据权利要求1或3所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的执行机构线位移促动器（10）、滑块导轨组件（16）、球体（7）及斜块（6）均是按照X、Y正交方位安装，与直线驱动器（11）安装位为同方向。

5.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的预紧弹簧（9）安装在执行机构线位移促动器（10）的两侧，对称安装，执行机构线位移促动器（10）的一端与上平板（1）刚性相连，执行机构线位移促动器（10）的另一端与中平板（2）刚性相连，在上平台调节过程中始终是处于拉紧状态，在上平板（1）及中平板（2）之间提供一个预紧力，保证球体（7）及斜块（6）时刻处于紧密贴合状态，实现上平台的精调功能。

6.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的1#十字轴连接机构（4）包括十字轴、角接触球轴承、端盖；所述的2#十字轴连接机构（12）包括十字轴、角接触球轴承、端盖。

7.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的上平板（1）和中平板（2）之间设置两组执行机构线位移促动器（10）、滑块导轨组件（16）、球体（7）、斜块（6）及2#在线位置传感器（15）。

8.根据权利要求1所述的一种静电悬浮加速度计地面试验测试用精密水平调节装置，其特征在于，所述的1#在线位置测量传感器（14）设有2个，2个1#在线位置测量传感器（14）通过安装支架螺栓固定在上平板（2）上，按照X、Y正交方向安装。