[发明专利]一种石英坩埚模具的制备方法

权利要求书

1.一种石英坩埚模具的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

步骤一：将纯度为99.99%熔融石英砂和纯度为99.995%熔融石英砂分别送至球磨机中，采用湿法球磨，球磨时间为3-4h，分别过筛70目和90目；

步骤二：将填料送至球磨机中，采用干法球磨，球磨时间为2-3h，该填料与纯度为99.99%熔融石英砂和纯度为99.995%熔融石英砂重量配比为1:9:7，其中填料按质量份数计包括以下组分：氧化锆：8-12份、碳酸钙：10-15份、氧化镁：4-8份、碳化硅微粉：22-26份、膨润土：13-17份、高岭土：10-14份、方解石粉：7-11份、硫酸钡：5-7份、铝粉：3-5份、镍粉1-2份；

步骤三：将过筛后不同粒径的纯度为99.99%的熔融石英砂和纯度为99.995%的熔融石英砂按照上述配比加入到混料筒中，以600-650r/min的转速搅拌3-4h，使其混合均匀；

步骤四：将混合均匀后浆料陈化4-6天，然后将球磨后所得填料的三分之一加入到混料桶中，以300-360r/min的转速搅拌4-5h，确保浆料混合均匀；

步骤五：然后将上述混合均匀的浆料注入成型模具中，并且注入过程中加入三分之一的填料，其中成型模具由上模框、下模框和模芯三部分组成，模芯设置在整个石膏模具中心内，呈圆柱形结构，且模芯内部为中空结构，通过浆料注入口将浆料注入到模框与模芯的间距中以及模芯内部的空腔内，分三次注入，每次注入浆料后加入填料，然后继续注入浆料，其中填料分两次加入，整体注入时间为1-2min，浆料注入完毕后接着将经过浸渍处理后的带有气孔的发泡材料铺在上模框顶部，将浆料中的水分吸收干净；

步骤六：将步骤五整个成型模具送至真空干燥箱内进行干燥，真空度为0.08-0.09MPa，干燥温度为50-55℃，时间为2-4h，

步骤七：将成型模具脱除，得到石英模具毛坯，将毛坯送至加热炉中进行分段加热，具体温度为：200-260℃、350-420℃、550-620℃，加热结束后冷却至室温；

步骤八：在毛坯内部表面涂覆粘结剂，然后将剩下的三分之一的填料喷涂在石英模具内部表面，喷淋流量为50-70ml/10s；

步骤九：将毛坯放入烧结炉中进行烧结，整个烧结流程工艺时间为24-26h，温度为1100-1220℃，得到石英模具。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚模具的制备方法，其特征在于：所述步骤六中真空度为0.08MPa，干燥温度为53℃，时间为3h。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚模具的制备方法，其特征在于：所述步骤七中分段加热具体温度为：230℃、400℃、600℃。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚模具的制备方法，其特征在于：所述步骤九中整个烧结流程工艺时间为24h，温度为1150℃。