[发明专利]金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用

权利要求书

1.一种金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，包括以下组分：高分子量聚醚、小分子量聚醚与水；所述高分子量聚醚的分子量为1000～6000，所述小分子量聚醚的分子量小于1000；所述高分子量聚醚为全嵌段聚醚与杂嵌段聚醚中的一种或者多种；所述小分子量聚醚为含有6至20个醚基的聚乙二醇中的一种或者多种；所述高分子量聚醚与所述水的重量之比为0.1～5:100，所述小分子量聚醚与所述水的重量之比为0.5～10:100。

2.根据权利要求1所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述全嵌段聚醚为REP聚醚、Pluronic系列聚醚或者Tetronic系列聚醚；所述小分子量聚醚选自聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600和聚乙二醇800中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述组分还包括聚氧乙烯醚系列表面活性剂与氟碳表面活性剂。

4.根据权利要求3所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚氧乙烯醚系列表面活性剂选自烷基酚聚氧乙烯醚与脂肪醇聚氧乙烯醚中一种或多种；所述氟碳表面活性剂氟碳表面活性剂为杜邦Capstone FS系列氟碳表面活性剂。

5.根据权利要求4所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚氧乙烯醚系列表面活性剂的聚合度为8～12；所述杜邦Capstone FS系列氟碳表面活性剂选自FS-10、FS-20、FS-22和FS-3100中的一种或多种。

6.一种金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂的应用，其特征在于，包括以下步骤：

1)配制制绒液；2)将权利要求1至5任意一项所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂加入步骤1)的制绒液中；3)将金刚线多晶硅片放入步骤2)的含有添加剂的制绒液中进行制绒。

7.根据权利要求6所述的金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂的应用，其特征在于，所述制绒液主要由氢氟酸、硝酸与水配制而成；所述添加剂与步骤1)的制绒液的重量比为0.5～2:100；所述步骤3)的制绒温度为8～15℃，制绒时间为60～150s。