[发明专利]一种激光诱导击穿光谱检测系统

权利要求书

1.一种激光诱导击穿光谱检测系统，其特征在于，包括激光诱导光源、分光单元、光谱参数监测单元、数据筛选单元和分析单元；

其中，所述数据筛选单元分别与所述分光单元、光谱参数监测单元和分析单元连接；

所述激光诱导光源用于向待检测材料输出激光以激发所述待检测材料产生等离子体光；

所述分光单元用于对所述等离子体光进行分光，并输出光谱数据；

所述光谱参数监测单元用于监测所述分光单元输入侧等离子体光和/或输出侧光谱数据的光谱参数；

所述数据筛选单元根据所述光谱参数对所述光谱数据进行筛选和/或修正，并输出有效光谱数据；

所述分析单元根据所述有效光谱数据获取所述待检测材料的成分。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述光谱参数包括所述分光单元输入侧的等离子体光的能量强度、漂移情况以及所述分光单元输出侧的光谱数据的能量强度、信噪比和信倍比中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述数据筛选单元基于筛选规则，根据所述光谱参数对所述光谱数据进行筛选，所述筛选规则通过预先设定或人工智能算法获取。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，当所述光谱参数为所述等离子体光的能量强度，所述筛选规则为所述等离子体光的能量均值波动范围时，所述数 据筛选单元根据所述能量强度计算所述等离子体光能量的实际波动值；

若所述实际波动值在所述波动范围内，则所述光谱数据为有效光谱数据；否则，剔除所述光谱数据。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，当所述光谱参数为所述光谱数据的能量强度，所述筛选规则为所述光谱数据的能量均值波动范围时，所述数 据筛选单元根据所述能量强度计算所述光谱数据能量的实际波动值；

若所述实际波动值在所述波动范围内，则所述光谱数据为有效光谱数据；否则，剔除所述光谱数据。

6.根据权利要求3至5中任一权利要求所述的系统，其特征在于，当存在多个所述光谱参数时，每一所述光谱参数对应的评价标准通过与或逻辑关系组合构成所述筛选规则。

7.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，当所述光谱参数为所述等离子体光的漂移情况时，所述数据筛选单元根据所述漂移情况修正所述光谱数据，修正后的所述光谱数据为有效光谱数据。

8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，当所述光谱参数为 所述光谱数据的能量强度，所述数据筛选单元根据所述光谱数据的能量强度对其中任一波长的能量强度进行统计，获取所述任一波长的参考能量，并根据所述参考能量等比例修正所述光谱数据，修正后的所述光谱数据为有效光谱数据。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括预处理单元，所述预处理单元分别与所述数据筛选单元和分析单元连接；所述预处理单元用于预处理所述有效光谱数据；

所述预处理包括去噪算法、波长校准算法、强度校准算法、寻峰算法和强度插值算法中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括采集单元，所述采集单元和分光单元连接；所述采集单元用于采集所述等离子体光。