[发明专利]有机材料微通道板及其制备方法在审
申请号: | 201711307114.0 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN107993917A | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 许阳蕾;史小玄;蔡华;徐滔;王彩丽;薄铁柱 | 申请(专利权)人: | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
主分类号: | H01J43/20 | 分类号: | H01J43/20;H01J9/12 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人: | 王伟锋,刘铁生 |
地址: | 100024*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 材料 通道 及其 制备 方法 | ||
1.一种有机材料微通道板,其特征在于,其包括:
有机材料微通道板基板;
导电层,附着于所述的有机材料微通道板基板上;
发射层,附着于所述的导电层上;
其中,所述的有机材料为柔性材料。
2.根据权利要求1所述的有机材料微通道板,其特征在于,所述的有机材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯或聚酰亚胺。
3.根据权利要求1所述的有机材料微通道板,其特征在于,所述的有机材料微通道板基板为喇叭孔有机材料微通道板基板或柱形孔有机材料微通道板基板。
4.根据权利要求1所述的有机材料微通道板,其特征在于,所述的导电层为Al2O3和/或ZnO薄膜。
5.根据权利要求1所述的有机材料微通道板,其特征在于,所述的发射层为Al2O3、SiO2和MgO中的至少一种。
6.一种有机材料微通道板的制备方法,其特征在于,其包括:
制备有机材料微通道板基板;
在所述的有机材料微通道板基板上制备导电层;
在所述的导电层上制备发射层。
7.根据权利要求6所述的有机材料微通道板的制备方法,其特征在于,所述的制备有机材料微通道板基板包括:将有机材料薄膜经重离子轰击后,由紫外光照射,后辐射照一侧标记为大孔端,再经电化学刻蚀,得到喇叭孔有机材料微通道板基板。
8.根据权利要求6所述的有机材料微通道板的制备方法,其特征在于,所述的制备有机材料微通道板基板还包括:将有机材料薄膜经重离子轰击后,紫外光照射,置于刻蚀液中加热,在阻止液中清洗,得到柱形孔有机材料微通道板基板。
9.根据权利要求6所述的有机材料微通道板的制备方法,其特征在于,所述的制备导电层为利用原子层沉积法制备导电层。
10.根据权利要求6所述的有机材料微通道板的制备方法,其特征在于,所述的制备发射层为选择Al2O3、SiO2和MgO作为有机薄膜打拿极发射层材料,利用原子层沉积法制备发射层。
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