[发明专利]狭缝可调节的曝光装置有效
申请号: | 201711303851.3 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN108051984B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 赵巍;魏小丹;王军才;江俊波;韦永强 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 狭缝 调节 曝光 装置 | ||
本发明公开了一种狭缝可调节的曝光装置,所述曝光装置包括:第一构件、第二构件以及粗调机构,所述第一构件具有第一弧面,所述第二构件具有第二弧面,所述第一弧面与所述第二弧面相对设置且两者之间限定出狭缝,所述粗调机构可用于驱动所述第一弧面和所述第二弧面中的一个运动以调节所述狭缝的宽度。根据本发明的曝光装置,通过粗调机构调整第一构件与第二构件之间的距离,以对曝光装置的照度进行调整,这样不仅可以通过调整狭缝的宽度,以调整曝光装置的照度,均衡照度和解像力,满足产品的解像力要求,而且在调整狭缝的宽度时,无需拆卸曝光装置,节约了产能,提高了生产效率。
技术领域
本发明涉及显示面板技术领域,具体而言,涉及一种狭缝可调节的曝光装置。
背景技术
在显示面板的曝光工序上,一般显示面板的解像力越高,在对显示面板进行曝光处理时所需要的照度越低,而当显示面板的解像力下降,那么相应的需要的照度也就越高。
然而,现有技术中的曝光装置为了提升解像力或者照度,需要对曝光装置的狭缝进行更换,每一块狭缝对应一个固有的照度和解像力,照度与解像力不能均衡,不仅浪费了设备产能,而且更换狭缝的操作复杂、繁琐,降低了生产效率。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种通用性好且可以均衡照度和解像力的狭缝可调节的曝光装置。
根据本发明实施例的狭缝可调节的曝光装置包括:第一构件、第二构件以及粗调机构,所述第一构件具有第一弧面,所述第二构件具有第二弧面,所述第一弧面与所述第二弧面相对设置且两者之间限定出狭缝,所述粗调机构可用于驱动所述第一弧面和所述第二弧面中的一个运动以调节所述狭缝的宽度。
根据本发明实施例的曝光装置,通过粗调机构调整第一构件与第二构件之间的距离,以对曝光装置的照度进行调整,这样不仅可以通过调整狭缝的宽度,以调整曝光装置的照度,均衡照度和解像力,满足产品的解像力要求,而且在调整狭缝的宽度时,无需拆卸曝光装置,节约了产能,提高了生产效率。
根据本发明的一些实施例,所述粗调机构被构造成能够对所述狭缝的宽度进行毫米级调节。
在一些实施例中,所述狭缝的横截面为月牙形,所述第一弧面形成在所述狭缝的内侧,所述第二弧面形成在所述狭缝的外侧,所述粗调机构用于驱动所述第一弧面运动。
进一步地,所述粗调机构被构造成能够驱动所述第一弧面的中部与位于中部两侧的两个侧部同时运动且运动方向相反,其中,自所述第一弧面的中部向任意一个侧部,所述第一弧面与所述第二弧面的间距逐渐缩小。
可选地,所述粗调机构包括:主调节组件和副调节组件,所述主调节组件至少部分伸入所述第一构件且在与所述狭缝相背离的一侧与所述第一弧面的中部连接,以驱动所述第一弧面的中部朝第一方向移动,所述副调节组件与所述第一弧面的两个侧部分别连接以驱动该两者分别朝与所述第一方向相反的第二方向同步移动。
可选地,所述主调节组件包括:支撑座、调节螺杆以及驱动电机,所述支撑座与所述第一构件固定连接,所述调节螺杆与所述支撑座通过螺纹传动,且所述调节螺杆与所述第一弧面的中部连接,所述驱动电机与所述调节螺杆连接以驱动所述调节螺杆转动。
可选地,所述副调节组件包括:第一弹性件以及第二弹性件,所述第一弹性件在所述主调节组件的左侧与所述第一弧面的左侧部连接,所述第二弹性件在所述主调节组件的右侧与所述第一弧面的右侧部连接。
进一步地,所述第一弹性件和所述第二弹性件均为压缩弹簧或均为拉伸弹簧。
进一步地,所述粗调机构还包括:用于显示所述第一弧面的中部的位移的第一测距件以及用于显示所述第一弧面的侧部的位移的第二测距件。
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