[发明专利]狭缝可调节的曝光装置

权利要求书

1.一种狭缝可调节的曝光装置，其特征在于，包括：

第一构件，所述第一构件具有第一弧面；

第二构件，所述第二构件具有第二弧面，所述第一弧面与所述第二弧面相对设置且两者之间限定出狭缝；以及

粗调机构，所述粗调机构可用于驱动所述第一弧面和所述第二弧面中的一个运动以调节所述狭缝的宽度；其中

所述粗调机构被构造成能够驱动所述第一弧面的中部与位于中部两侧的两个侧部同时运动且运动方向相反，其中，自所述第一弧面的中部向任意一个侧部，所述第一弧面与所述第二弧面的间距逐渐缩小。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述粗调机构被构造成能够对所述狭缝的宽度进行毫米级调节。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述狭缝的横截面为月牙形，所述第一弧面形成在所述狭缝的内侧，所述第二弧面形成在所述狭缝的外侧，所述粗调机构用于驱动所述第一弧面运动。

4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述粗调机构包括：

主调节组件，所述主调节组件至少部分伸入所述第一构件且在与所述狭缝相背离的一侧与所述第一弧面的中部连接，以驱动所述第一弧面的中部朝第一方向移动；以及

副调节组件，所述副调节组件与所述第一弧面的两个侧部分别连接以驱动该两者分别朝与所述第一方向相反的第二方向同步移动。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述主调节组件包括：

支撑座，所述支撑座与所述第一构件固定连接；和

调节螺杆，所述调节螺杆与所述支撑座通过螺纹传动，且所述调节螺杆与所述第一弧面的中部连接；以及

驱动电机，所述驱动电机与所述调节螺杆连接以驱动所述调节螺杆转动。

6.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述副调节组件包括：

第一弹性件，所述第一弹性件在所述主调节组件的左侧与所述第一弧面的左侧部连接；以及

第二弹性件，所述第二弹性件在所述主调节组件的右侧与所述第一弧面的右侧部连接。

7.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述粗调机构还包括：用于显示所述第一弧面的中部的位移的第一测距件以及用于显示所述第一弧面的侧部的位移的第二测距件。

8.根据权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，还包括控制元件，所述驱动电机、所述第一测距件、所述第二测距件均与控制元件连接，所述控制元件根据所述第一测距件发送的显示第一读数的第一信号以及所述第二测距件发动的显示第二读数的第二信号，实时控制所述驱动电机的启停。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的曝光装置，其特征在于，还包括微调机构，所述微调机构可用于对所述第一弧面和所述第二弧面中的另一个的弧形表面形状进行调节，所述微调机构被构造成能够对相应弧面进行微米级调节。