[发明专利]用于3D打印设备真空室系统检漏装置及检漏方法

权利要求书

1.一种用于3D打印设备真空室系统检漏装置，其特征在于，包括氦质谱仪、检测工装、以及待检测的真空室系统；

所述真空室系统是保持气密性环境的真空室系统，其包括：

真空箱；分别与所述真空箱相连的料箱、过滤器、鼓风机、氦气瓶、真空泵；

连接所述过滤器和所述鼓风机的管路；以及密封门；

所述氦质谱仪具有：氦检漏仪；设置于所述氦检漏仪的吸枪；设置在所述氦检漏仪外部的分子泵及调节器，该分子泵通过所述调节器进行频率和流速的调节控制；

采用真空泵对真空室系统进行抽真空操作，使箱体内压力达到压力预定值；对所述箱体内进行氦气填充，当到达设备工作状态压力时停止补气；开启鼓风机使气体在所述箱体内循环流动；开启氦质谱仪和分子泵，对测量环境的氦气量进行测量；设备进行t1时间保压试验，t1时间后压力依旧保持的情况下，进行氦质谱检漏；

采用连接有检测工装的吸枪对可能存在泄漏的结构或部件进行检测；检测记录每个点数据，若设备漏率大于漏率设定值，则该处存在漏点，若漏率不大于漏率设定值，则该处漏率正常。

2.如权利要求1所述的用于3D打印设备真空室系统检漏装置，其特征在于，所述检测工装的接口与所述吸枪连接，该检测工装为圆弧检测工装、高度可调式检测工装、柱状零件检测工装及窄缝检测工装中的任一个。