[发明专利]单晶硅片清洗制绒方法在审

专利信息
申请号: 201711271931.5 申请日: 2017-12-06
公开(公告)号: CN108054236A 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 刘露露;衣玉林;穆林森 申请(专利权)人: 苏州润阳光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单晶硅 清洗 方法
【说明书】:

发明公开一种单晶硅片清洗制绒方法,该方法依次包括粗抛、预清洗、制绒、后清洗、酸洗、慢提拉以及烘干,其中,粗抛是于预清洗之前使用浓度0.8%—1.2%的KOH溶液对硅片进行初步抛光;后清洗是使用浓度1.2%—2.2%的H2O2和浓度0.5%—0.8%的KOH混合溶液清洗制绒后该硅片表面残留物。本发明适用于单晶硅片清洗制绒工序,有效解决了硅片制绒后添加剂残留问题,并且改善了硅片表面脏污难以去除的情况,提高了制绒的合格率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池清洗制绒领域,尤其涉及清洗制绒脏污和硅片表面残留物的单晶硅片清洗制绒方法。

背景技术

太阳能电池清洗制绒工艺是太阳能电池制造工艺中至关重要的一步,对成品电池片的电性能有着重大的影响。脏污片的产生是清洗制绒工序经常会出现的问题,其流传下去会造成外观不合格电池片以及EL不合格品增多。制绒后添加剂的残留会导致电池片效率偏低,EL发暗,严重影响效率及良率。

现有技术中,脏污片通常进行返工处理,但是,这种处理方法存在两个问题:第一,经二次制绒后电池片偏薄,易碎片,造成产线的碎片率增加;第二,二次制绒后绒面效果较一次制绒效果差,会造成成品电池片效率下降以及不良率增加。

发明内容

有鉴于此,本发明的目的是解决上述现有技术的不足,提供一种优化的单晶硅片清洗制绒方法。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是:一种单晶硅片清洗制绒方法,依次包括粗抛、预清洗、制绒、后清洗、酸洗、慢提拉以及烘干,其中,粗抛是于预清洗之前对该硅片进行粗抛光;后清洗是清洗制绒后该硅片表面残留物。

特别地,粗抛时使用浓度0.8%—1.2%的KOH溶液对该硅片进行初步抛光。

特别地,后清洗时使用浓度1.2%—2.2%的H2O2和浓度0.5%—0.8%的KOH混合溶液对该硅片进行清洗。

相较于现有技术,本发明的单晶硅片清洗制绒方法,改进硅片制绒的流程,加入粗抛和后清洗流程,分别对硅片进行粗抛光和清洗制绒后硅片表面残留物,粗抛改善了制绒前硅片脏污问题,后清洗解决了制绒后硅片添加剂表面残留问题,因而从源头上优化单晶硅片清洗制绒工序,有效解决了硅片制绒后添加剂残留问题,并且改善了硅片表面脏污难以去除的情况,提高了制绒的合格率。

附图说明

图1为本发明单晶硅片清洗制绒方法的流程图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例,本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

请参阅图1,为本发明单晶硅片清洗制绒方法的流程图,如图所示,该方法为:

1)粗抛;

2)预清洗;

3)水洗;

4)制绒;

5)水洗;

6)后清洗;

7)水洗;

8)酸洗

9)水洗;

10)慢提拉;

11)烘干。

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