[发明专利]探针卡装置及其信号转接模块

权利要求书

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一信号转接模块，包含有：

一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点，并且每个所述电性接点包含有一凹槽；及

多个导电缓冲体，分别安装于多个所述电性接点的所述凹槽内，并且每个所述导电缓冲体具有一弹性压缩量；

一定位座体，对应设置于多个所述电性接点的一侧；以及

多个矩形探针，设置于所述定位座体，并且每个所述矩形探针包含有位于相反两侧且穿出所述定位座体的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别可移动地插设于多个所述电性接点的所述凹槽内；

其中，于每个所述矩形探针、相对应所述电性接点、及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体受压迫地抵接于所述第一接触段以及所述凹槽的一槽底，以通过所述导电缓冲体，而使所述矩形探针与所述电性接点保持电性连接；

其中，每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述弹性压缩量内被调整，以使多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述弹性压缩量为50微米以下。

2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整；其中，所述相对位移量小于所述弹性压缩量、并且为10微米以下。

3.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体的弹性模量大于所述矩形探针的弹性模量，并且所述导电缓冲体的所述弹性模量为65GPa以上，而所述矩形探针的所述弹性模量为60GPa以上。

4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体的导电率大于等于所述矩形探针的导电率，并且所述矩形探针的所述导电率为4x104S·m-1以上。

5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述凹槽形成有一限位部，以使所述导电缓冲体嵌设于所述凹槽内。

6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述弹性压缩量进一步限定为5微米以下。

7.一种探针卡装置的信号转接模块，其特征在于，所述探针卡装置的信号转接模块包括：

一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点，并且每个所述电性接点包含有一凹槽；以及

多个导电缓冲体，分别安装于多个所述电性接点的所述凹槽内，并且每个所述导电缓冲体具有一弹性压缩量；其中，于每个所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述凹槽能用以提供一探针可移动地插设并压迫于所述导电缓冲体，以通过所述导电缓冲体，而使所述探针与所述电性接点保持电性连接；其中，所述弹性压缩量为50微米以下。

8.依据权利要求7所述的探针卡装置的信号转接模块，其特征在于，所述转接板包含有一基板、位于所述基板上的多个金属垫、覆盖于所述基板的一绝缘层、及分别连接于多个所述金属垫的多个金属镀层；其中，所述绝缘层的外表面定义为所述板面，所述绝缘层形成有分别裸露多个所述金属垫的多个通孔，多个所述金属镀层镀设于多个所述通孔的内侧壁，并且每个所述金属垫及相连接的所述金属镀层合并定义为一个所述电性接点并且共同包围形成有所述凹槽。

9.依据权利要求7所述的探针卡装置的信号转接模块，其特征在于，于每个所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述凹槽形成有一限位部，以使所述导电缓冲体嵌设于所述凹槽内。

10.依据权利要求7所述的探针卡装置的信号转接模块，其特征在于，每个所述导电缓冲体的弹性模量为65GPa，并且每个所述导电缓冲体的导电率为4x10⁴S·m^-1以上，所述弹性压缩量进一步限定为5微米以下。