[发明专利]掺导电材料的PDMS复合膜及其制备方法

权利要求书

1.一种掺导电材料提高纳米发电机摩擦层纵向电荷密度的PDMS复合膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)取一块纳米发电机衬底，取一片铝箔粘在衬底上；

2)在铝箔上旋涂PDMS溶液，旋涂的速度为100～8000rpm，旋涂时间5～100s，旋涂完即在真空腔中抽真空10～120分钟，然后将其置于40～70摄氏度的加热板上加热0.5～6.5小时固化，得到PDMS层；

3)用磁控溅射的方法在PDMS表面进行时长为10～80秒的喷金；

4)将喷金后的PDMS膜进行等离子体处理，随后再进行PDMS溶液的旋涂，旋涂速度为3000～9000rpm，时间为20～70s；

5)旋涂完PDMS溶液后即在真空腔中抽真空30～120分钟，然后置于40～70摄氏度的加热板上加热0.5～6.5小时固化，得到有一层金层的PDMS金复合膜；

6)重复步骤3)至步骤5)，得到有不同金层数的PDMS金复合膜。

2.如权利要求1所述的PDMS复合膜的制备方法，其特征在于，所述衬底为亚克力板或者PVC或者木材或者玻璃或者树脂板或者聚酰亚胺板或者PET板或者尼龙板或者PP板或者PMMA板或者PTFE板。

3.如权利要求1所述的PDMS复合膜的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中喷金采用离子溅射仪，设置仪器的真空度为5×10^-2pa、电流强度为15mA。

4.一种掺导电材料提高纳米发电机摩擦层纵向电荷密度的PDMS复合膜，其特征在于，所述PDMS复合膜从下往上依次设置有衬底(1)、铝箔层(2)、第一PDMS层(3)、至少一层Au-PDMS复合层(4)，所述Au-PDMS复合层(4)包括金层(5)和在金层上方的第二PDMS层(6)，所述PDMS复合膜是按照权利要求1至3任一项所述的方法制备得到。

5.如权利要求4所述的PDMS复合膜，其特征在于，所述Au-PDMS复合层(4)的层数为1～6层。