[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含化学式1所表示的化合物和有机碱化合物，

化学式1

所述化学式1中，当R1为氢时，R2和R3各自独立地为氢或碳原子数2～4的烷基；当R1为碳原子数1～4的烷基时，R2和R3各自独立地为氢或碳原子数1～4的烷基。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其进一步包含醇系化合物。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其进一步包含去离子水。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，相对于所述抗蚀剂剥离液组合物总重量％，包含所述化学式1所表示的化合物40～90重量％、和有机碱化合物0.1～25重量％。

5.根据权利要求4所述的抗蚀剂剥离液组合物，其进一步包含醇系化合物3～55重量％。

6.根据权利要求4所述的抗蚀剂剥离液组合物，其进一步包含去离子水0.01～30重量％。

7.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述化学式1所表示的化合物为选自由二甲基丙酰胺、二甲基丁酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺和N-丁基甲酰胺组成的组中的一种以上。

8.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述有机碱化合物为选自由四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、甲基胺、乙基胺、单异丙基胺、正丁基胺、仲丁基胺、异丁基胺、叔丁基胺、戊基胺、二甲基胺、二乙基胺、二丙基胺、二异丙基胺、二丁基胺、二异丁基胺、甲基乙基胺、甲基丙基胺、甲基异丙基胺、甲基丁基胺、甲基异丁基胺、二乙基羟基胺、三甲基胺、三乙基胺、三丙基胺、三丁基胺、三戊基胺、二甲基乙基胺、甲基二乙基胺、甲基二丙基胺、胆碱、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单丙醇胺、单甲基乙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲基氨基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺、氨基乙基乙醇胺、(丁氧基甲基)二乙基胺、(甲氧基甲基)二乙基胺、(甲氧基甲基)二甲基胺、(丁氧基甲基)二甲基胺、(异丁氧基甲基)二甲基胺、(甲氧基甲基)二乙醇胺、(羟基乙基氧基甲基)二乙基胺、甲基(甲氧基甲基)氨基乙烷、甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇、甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇和2-(2-氨基乙氧基)乙醇组成的组中的一种以上。

9.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述醇系化合物为选自由四氢糠醇、羟基甲基环戊烯、4-羟基甲基-1,3-二氧戊环、2-甲基-4-羟基甲基-1,3-二氧戊环、2,2-二甲基-1,3-二氧戊环-4-甲醇、1,3-丙二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2-甲氧基乙醇、苄基醇、苯乙醇、对羟基苄基醇、邻羟基苄基醇、对羟基苯乙醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、二乙二醇、三乙二醇、异丙二醇、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇乙基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、单异丙二醇醚、二乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、甘醇、甘油、赤藓糖醇、阿糖醇、木糖醇、甘露糖醇和山梨糖醇组成的组中的一种以上。