[发明专利]一种消振装置及其使用方法有效
申请号: | 201711244866.7 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN109854670B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 王天明;郭耸;刘赟 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | F16F15/04 | 分类号: | F16F15/04;F16F15/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种消振装置,其特征在于,包括基体单元、电机、可动固定单元、弹性连接单元、配重单元以及主动控制单元;所述基体单元包括基体底座和固定在基体底座上的基体支架,所述基体支架由三个板材连接组成,所述板材上设有用于减轻板材重量的减重孔;所述电机的定子固定连接在所述基体底座上,所述电机的动子连接在所述可动固定单元上;所述可动固定单元的一端通过所述弹性连接单元与所述基体单元连接,另一端通过所述弹性连接单元与所述配重单元连接;所述弹性连接单元固定在所述基体支架上;所述主动控制单元控制所述电机运动实现主动消振。
2.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述主动控制单元还包括振动探测器,所述振动探测器采集消振对象的振动信息,对所述消振对象的振动信息进行处理后驱动所述电机,动态调整所述配重单元的频率、阻尼率,适应消振对象的要求。
3.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述基体支架还包括簧片支架,所述弹性连接单元固定在所述簧片支架上。
4.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述弹性连接单元包括簧片。
5.根据权利要求4所述的消振装置,其特征在于,所述簧片的厚度规格为0.1mm-1mm。
6.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述配重单元为若干个叠加的配重块。
7.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述配重单元的质量规格为0.2Kg-2.0Kg。
8.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述主动控制单元包括光栅尺、加速度传感器、控制器和功率调节器,所述光栅尺和加速度传感器采集消振对象的运动信息,反馈给控制器,再由功率调节器驱动电机,动态调整所述配重单元的频率、阻尼率。
9.根据权利要求8所述的消振装置,其特征在于,所述加速度传感器安装在所述可动固定单元或所述基体单元上。
10.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述基体单元上设有用于与消振对象连接的安装底座,所述安装底座设在所述基体单元上与所述电机的轴向垂直或平行。
11.根据权利要求10所述的消振装置,其特征在于,所述安装底座为磁性材质。
12.一种消振装置的使用方法,其特征在于,在消振对象上单点设置或多点多方向设置权利要求1至11任意一项所述的消振装置。
13.根据权利要求12所述的消振装置的使用方法,其特征在于,所述单点设置为在消振对象上设置一个所述消振装置。
14.根据权利要求12所述的消振装置的使用方法,其特征在于,所述多点多方向设置为在消振对象的两个及以上的方向上设置所述消振装置。
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