[发明专利]可调节误差质量流量计的测试装置及测试方法

说明书

本发明公开了可调节误差质量流量计的测试装置，包括电连接被测可调节误差质量流量计并将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”形成两路脉冲信号的信号处理电路和与信号处理电路电连接并将两路脉冲信号进行A/D转换，计算出“起始信号”和“终止信号”的周期和相位差相关参数，并通过可调节误差质量流量计相关K系数来测算出流量，把测试结果在人机界面显示出来的工控机；本发明还公开了可调节误差质量流量计的测试方法；本发明结构简单、操作方便、测试方法精度高，自动化程度高。

所属技术领域

本发明涉及可调节误差质量流量计的测试装置，本发明还涉及可调节误差质量流量计的测试方法。

背景技术

随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量流体质量的质量流量计(MFC)。质量流量计能快速响应精密控制流体的质量流量，重复性好,已广泛应用于半导体生产设备中，可调节误差质量流量计是其中的一种，可调节误差质量流量计是一种高精度的流量传感器，它输出的两路信号“起始信号”和“终止信号”周期T精度为0.1ms，电压峰峰值Vpp精度为1mv；相位差ΔT(ms)精度为0.001ms。现有的测试方法利用通用示波器采集信号，由测试人员读取这些信号波形的幅值、周期，并肉眼观察、测算相位差等参数，从而判断出流量传感器是否合格。现有测试技术及方法的不足之处在于：1.完全靠人工操作示波器及读取示波器相关参数，其数据精度差，实际测量误差较大。2.传统的测试方式效率低下。测试人员检测时，在对产品加放油和读取示波器上各种波形和参数的同时，又要进行数据记录，并通过流量计具体K系数来测算流量，判定传感器是否合格，操作流程较为复杂繁琐。

发明内容

为解决现有技术存在的不足之处，提供一种结构简单、操作方便、测试精度高，自动化程度高，易于测试人员操作的自动化测试装置。本发明提供了可调节误差质量流量计的测试装置。本发明的可调节误差质量流量计的测试装置，其特征在于：包括电连接被测可调节误差质量流量计并将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”产生的正弦波信号进行整流、滤波，经过整流滤波输出原始波形并且在后级通过运放放大、比较处理形成两路幅值分别为5±0.5Vpp的脉冲信号的信号处理电路；以及与所述的信号处理电路电连接并将两路脉冲信号进行A/D转换，计算出“起始信号”和“终止信号”的周期和相位差相关参数，并通过可调节误差质量流量计相关K系数来测算出流量，把测试结果在人机界面显示出来的工控机。

进一步，所述的工控机包括测试控制装置，所述的测试控制装置包括读取信号处理电路的数据并将采样数据送入驱动程序模块缓存区、以及根据显示滤波判断是否停止采样的信号采集模块；把采样数据存储在一维数组中并将采样数据转换为数字信号的驱动程序模块；根据数字信号的垂直增益、垂直位移、水平增益进行幅度调整、位移调整和速率调整以及参数测量的信号调节模块；对该数字信号进行时域分析，对各个通道波形进行叠加、相减等基本运算的时域分析模块；将时域分析的数字信号存放在一个大小可调节的动态数组中的数据存储模块；以及根据时域分析的数字信号显示滤波波形的显示模块。

可调节误差质量流量计的测试方法，其特征在于：包括如下步骤：将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”产生的正弦波信号进行整流、滤波，经过整流滤波输出原始波形并且在后级通过运放放大、比较处理形成两路幅值分别为5±0.5Vpp的脉冲信号；读取脉冲信号并将采样数据送入驱动程序模块缓存区；把采样数据存储在一维数组中并将采样数据转换为数字信号；根据数字信号的垂直增益、垂直位移、水平增益进行幅度调整、位移调整和速率调整以及参数测量；对该数字信号进行时域分析，对各个通道波形进行叠加、相减等基本运算；将时域分析的数字信号存放在一个大小可调节的动态数组中；根据时域分析的数字信号显示滤波波形，根据显示滤波判断是否停止采样，停止则则进行参数测量，并绘图显示，不停止则继续采样。

本发明相比于现有技术具有如下有益效果：

结构简单。本发明采用信号处理电路电连接工控机，通过工控机装有测试控制程序的测试控制装置计算可调节误差质量流量计“起始信号”和“终止信号”的原始波形。