[发明专利]用于支承基板的吸盘模块和包括该吸盘模块的探针台

权利要求书

1.一种探针台，其包括：

吸盘模块，用于支承具有半导体器件的基板；以及

探针卡保持模块，用于保持探针卡以用于对半导体器件执行电气检查；

其中所述吸盘模块包括：

吸盘板，用于支承基板，所述吸盘板包括在其中央部形成的对位孔以及在其边缘部形成的对位狭缝；

连接板，设置在所述吸盘板下方，所述连接板包括第一对位销和第二对位销，所述第一对位销被插入到所述对位孔中并且所述第二对位销被插入所述对位狭缝中，用于使所述连接板对齐所述吸盘板；以及

加热单元，设置在所述连接板下方并且与所述连接板连接，所述加热单元配置成加热所述吸盘板，

其中所述连接板还包括用于真空吸附所述吸盘板的第一真空孔，并且所述吸盘板包括用于真空吸附所述基板的第二真空孔。

2.根据权利要求1所述的探针台，其中，所述连接板进一步包括冷却通道，其配置成使冷却流体流动以用于冷却所述吸盘板，以使所述吸盘板的温度维持在预设温度范围内。

3.根据权利要求1所述的探针台，其中，所述连接板进一步包括与所述第一真空孔相连通的第一真空腔室，以提供用来在所述第一真空孔中传递真空的空间。

4.根据权利要求1所述的探针台，其进一步包括：

第一真空线，连接到所述连接板，与所述第一真空孔相连通，并传递真空到所述第一真空孔，以用于真空吸附所述吸盘板；

第一真空泵，连接到所述第一真空线；

第二真空线，与所述第二真空孔相连通，并且传递真空以用于真空吸附所述基板；以及

第二真空泵，连接到所述第二真空线。

5.根据权利要求4所述的探针台，其中，所述吸盘板进一步包括第二真空腔室，其与所述第二真空孔和所述第二真空线相连通，用于提供用来传递真空到所述第二真空孔的空间，且所述第二真空线连接到所述吸盘板。

6.根据权利要求4所述的探针台，其中，所述连接板进一步包括：第三真空孔，形成在与所述第二真空孔相对应的位置，以与所述第二真空孔相连通；以及第二真空腔室，与所述第三真空孔和所述第二真空线相连通，用于提供用来传递真空到所述第三真空孔的空间,且所述第二真空线连接到所述连接板。

7.根据权利要求1所述的探针台，其中，所述加热单元包括：

加热器，设置在所述连接板下方，并且配置成产生用来加热所述吸盘板的热；以及

隔离件，设置在所述加热器下方，并且配置成防止热从所述加热器向下传导。